电子束蒸发电流是指在真空环境中蒸发材料过程中使用的电子束电流。
该电流通常以安培（A）为单位，是决定被蒸发材料功率的关键参数。
在所提供的参考文献中，电子束被描述为通过磁力定向到装有待蒸发材料的坩埚中。
电子束的工作电压很高，通常在 10 千伏左右，即使是 0.1 安培的小电流也能产生 1 千瓦的大功率，从而有效加热材料。
需要了解的 5 个要点
1.电子束电流的重要性
电子束电流至关重要，因为它直接影响沉积速率和薄膜质量。
2.沉积速率
电流越大，沉积速率越高，根据具体设置和材料的不同，沉积速率从每分钟 0.1 纳米到每分钟 100 纳米不等。
这种高沉积速率有利于获得高密度薄膜涂层，并增强与基底的附着力。
3.局部加热
电子束蒸发工艺旨在将能量集中在目标材料上，而不是加热整个坩埚或真空室。
这种局部加热不仅能提高材料利用效率，还能降低基底受到污染和热损伤的风险。
4.高熔点材料
该工艺对钨和钽等高熔点材料特别有效，因为这些材料需要大量能量才能汽化。
5.优化和质量
通过控制电子束电流，制造商可以优化沉积速率，确保生产出高质量、纯净且污染最小的薄膜。
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