扩散泵是需要高真空环境的行业中必不可少的工具。
这些泵以耐用性和可靠性著称,主要是因为它们没有活动部件。
它们可在 10^-2 至 10^-10 托的真空范围内高效运行。
探索 4 个关键行业
1.电子束显微镜
扩散泵在电子束显微镜中至关重要。
高真空条件是防止电子束被残留气体散射的必要条件。
高真空可确保电子束畅通无阻,从而实现样品的高分辨率成像。
2.真空沉积和涂层
在真空沉积过程中,材料在真空环境中气化,然后沉积到基底上形成薄膜。
扩散泵用于产生和维持所需的高真空。
这可确保气化颗粒直接到达基底,而不受气体分子的干扰,从而形成优质、均匀的涂层。
3.真空炉
在真空炉中,材料在真空中加热,以防止在有空气存在的情况下发生氧化和其他化学反应。
扩散泵用于将这些炉子抽真空至必要的真空度。
这可确保材料在受控的惰性环境中加热,对于退火、钎焊和烧结等工艺尤为重要。
4.维护和操作注意事项
扩散泵的维护相对简单。
其重点是保持适当的油位和确保加热器的运行状态。
强调使用高质量的油,以最大限度地提高性能和减少维护需求。
扩散泵的工作原理是利用沸腾流体的蒸汽捕获空气分子,然后将其移动并冷却以释放空气分子,从而形成高真空环境。
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