等离子氮化和软氮化都是热化学热处理工艺，旨在提高金属的表面性能，尤其是耐磨性、疲劳强度和防腐蚀性能。不过，它们在金属表面引入的元素和所产生的性能方面有所不同。
等离子氮化：
等离子氮化是指氮气扩散到金属表面，与工件材料形成氮化物。这种工艺主要用于提高表面硬度和耐磨性。它对高合金钢尤为有效，可显著提高耐磨性、耐磨损性和抗咬合性。与传统淬火相比，该工艺在较低的温度下进行，有助于保持较高的尺寸精度，并减少对后处理的需求。等离子氮化还以其可重复性、环保性和能源效率而著称。渗碳氮化
- 相比之下，软氮化将氮和碳同时引入金属表面。该工艺通常用于非合金钢和铸铁，可形成含碳的ε化合物层（Fe2-3CxNy）。当需要较厚的复合层时，尤其推荐使用渗碳氮化，因为它比单独的等离子氮化更有效地提高耐腐蚀性。此外，在渗氮后还可进行后氧化处理，以进一步提高防腐蚀性能，尤其是在中低合金材料中。比较：
- 引入的元素： 等离子渗氮引入氮元素，而渗碳氮化同时引入氮元素和碳元素。
- 适用性： 等离子渗氮更适用于高合金钢，而软氮化则常用于非合金钢和铸铁。
- 复合层： 渗氮通常会产生较厚的复合层，有利于增强耐腐蚀性。
后处理：
两种工艺后都可进行后氧化处理，但后氧化处理更常见于渗氮，以进一步提高腐蚀性能。
