XRF（X 射线荧光）和 EDS（能量色散光谱）都是用于元素分析的分析技术。
不过，它们在操作方法、分辨率和应用方面有所不同。
需要了解的 4 个要点
1.操作方法
XRF:在 XRF 中，来自光源的初级 X 射线与样品中的原子相互作用。
这导致内壳电子射出，随后来自更高能级的电子填补这些空位。
这种转变会发射出每种元素特有的二次 X 射线，通过检测可确定样品的元素组成。
EDS:EDS 的工作原理是在真空环境中用聚焦电子束轰击样品。
这种电子轰击会使样品发出特征 X 射线，然后对其进行检测和分析，以确定存在的元素及其浓度。
2.分辨率和检测
XRF:能量色散 XRF（ED-XRF）的分辨率通常为 150 eV 至 600 eV，波长色散 XRF（WD-XRF）的分辨率通常为 5 eV 至 20 eV。
它能够分析散装样品并提供全面的元素组成。
EDS:EDS 的取样深度约为 1 μm，可对从 Be 到 U 的所有元素进行定性和定量分析。
EDS 的分辨率一般足以进行微区分析，检测限通常约为 0.1%-0.5%。
3.应用和样品要求
XRF:XRF 广泛应用于水泥、金属矿石、矿石、油气、环境和地质等行业。
它只需极少的样品制备过程，并且是非破坏性的，可保持样品的完整性。
电离辐射:EDS 主要与电子显微镜结合使用，用于微区分析。
它要求样品在真空和电子束轰击下保持稳定，尤其适用于分析局部小区域的元素组成。
4.技术特点
XRF:XRF 以其非破坏性和同时分析多种元素的能力而著称，因此适用于复杂的材料系统。
电离辐射:EDS 具有探针电流低的优点，可最大限度地减少对样品的损坏，而且可以进行点、线和面分析，提供详细的元素分布图。
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总之，虽然 XRF 和 EDS 都是强大的元素分析工具，但它们的区别在于操作原理、分辨率能力和具体应用。
XRF 更适用于批量分析，并且是非破坏性的，而 EDS 则擅长微区分析，并且通常与电子显微镜相结合，以绘制详细的元素图谱。
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