XRF 分析的范围从最小检测厚度约 1 纳米到最大约 50 微米不等。低于 1 纳米时,特征 X 射线会被噪声遮盖;超过 50 微米时,厚度会达到饱和,从而阻止更多 X 射线到达检测器。
详细说明:
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最小探测厚度(1 纳米): 厚度小于 1 纳米时,分析材料发出的特征 X 射线将无法检测到,因为它们被淹没在噪声信号中。这种限制是由于 XRF 技术的基本灵敏度和检测过程中固有的背景噪声造成的。
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最大检测厚度(50 微米): 当材料厚度超过 50 微米时,材料内层发射的 X 射线无法穿透外层到达检测器。这就产生了饱和效应,即厚度增加到此点以后,就无法再探测到更多的 X 射线了。这是因为 X 射线被上层材料吸收或散射,无法到达探测器,因此无法测量厚度的进一步变化。
这些限制确定了 XRF 分析在材料厚度方面的实用范围,确保该技术在这些范围内有效地进行准确可靠的测量。
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