用于扫描电子显微镜的溅射涂层是在样品上沉积一层薄薄的导电材料。这一过程可提高样品的导电性，减少电荷效应，并增强二次电子发射。
5 个要点说明
1.溅射过程
溅射过程首先是在充满氩气的腔室中的阴极和阳极之间形成辉光放电。
氩气被电离，产生带正电荷的氩离子。
这些离子在电场的作用下加速冲向阴极。
在撞击过程中，它们通过动量传递使阴极表面的原子脱落。
这种对阴极材料的侵蚀称为溅射。
2.溅射原子的沉积
溅射原子向各个方向运动，最终沉积在靠近阴极的样品表面。
这种沉积通常是均匀的，形成一层薄薄的导电层。
涂层的均匀性对 SEM 分析至关重要，因为它能确保样品表面被均匀覆盖。
这可降低充电风险，并增强二次电子的发射。
3.SEM 的优势
溅射涂层提供的导电层有助于消散 SEM 中电子束造成的电荷积聚。
这对非导电样品尤为重要。
它还能提高二次电子产率，从而获得更好的图像对比度和分辨率。
此外，涂层还能将热量从样品表面传导出去，保护样品免受热损伤。
4.技术提升
现代溅射镀膜机通常包括一些功能，如永久磁铁，可将高能电子偏离样品，从而减少热量产生。
有些系统还提供预冷选项，进一步减少对敏感样品的热影响。
使用自动化系统可确保涂层厚度的一致性和准确性，这对获得可靠的 SEM 图像至关重要。
5.缺点和注意事项
溅射镀膜虽然有其优点，但也有一些缺点。
设备可能比较复杂，需要很高的电压力。
溅射沉积率可能相对较低。
此外，在此过程中，基底的温度会显著升高。
系统容易受到杂质气体的影响。
尽管存在这些挑战，但用于扫描电子显微镜的溅射镀膜的优势，如改进的图像质量和样品保护，使其成为扫描电子显微镜样品制备的一项重要技术。
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