用于扫描电子显微镜的溅射涂层是指在样品上沉积一层薄薄的导电材料，以提高其导电性，减少电荷效应，并增强二次电子发射。这是通过一种称为溅射的工艺来实现的，在这种工艺中，气体环境（通常为氩气）中阴极和阳极之间的辉光放电会腐蚀阴极靶材料（通常为金或铂）。然后，溅射的原子均匀地沉积在样品表面，为在扫描电子显微镜中进行分析做好准备。
溅射过程：
溅射过程首先是在充满氩气的腔室中，在阴极（包含目标材料）和阳极之间形成辉光放电。氩气被电离，产生带正电荷的氩离子。这些离子在电场的作用下加速冲向阴极，在撞击过程中，它们通过动量传递将原子从阴极表面移开。这种对阴极材料的侵蚀称为溅射。溅射原子的沉积：
溅射原子向各个方向运动，最终沉积在靠近阴极的样品表面。这种沉积通常是均匀的，形成一层薄薄的导电层。涂层的均匀性对扫描电子显微镜分析至关重要，因为它能确保样品表面被均匀覆盖，降低充电风险并增强二次电子的发射。
SEM 的优势：
溅射涂层提供的导电层有助于消散扫描电镜中电子束造成的电荷积聚，这对非导电样品尤为重要。它还能提高二次电子产率，从而获得更好的图像对比度和分辨率。此外，涂层还能从表面传导热量，保护样品免受热损伤。技术提升：
