更新于 3个月前
使用溅射系统进行铝 (Al) 沉积时，通常选择氩 (Ar) 气体作为载气。
氩气被广泛用作溅射腔内的溅射气体。
这种气体会产生等离子体，轰击铝等目标材料。
轰击将铝靶上的原子喷射到真空中。
然后，这些铝原子沉积到基底上形成薄膜。
氩气是首选的载气，因为它是惰性气体，不会与目标材料发生化学反应。
此外，氩气的原子量与铝接近。
这种原子量上的相似性使溅射过程中的动量传递更为有效。
氩气是溅射室中溅射气体的标准选择。
氩气产生等离子体轰击铝靶。
这种轰击将铝原子喷射到真空中。
氩气的原子量接近铝的原子量，有利于在溅射过程中实现高效的动量传递。
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