产品 实验室耗材和材料 薄膜沉积部件 陶瓷蒸发舟套装
陶瓷蒸发舟套装

薄膜沉积部件

陶瓷蒸发舟套装

货号 : KME09

价格根据 规格和定制情况变动


材料
陶瓷坩埚/钨丝
陶瓷坩埚尺寸
0.25 毫升 / 0.5 毫升 / 1.0 毫升 / 2.0 毫升 / 3.0 毫升
钨丝尺寸
3*0.8 金属丝 / 3*1.0 毫米金属丝 / 3*0.8 金属丝
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应用

Combo Boat 组件用于物理气相沉积(PVD)工艺,特别是热蒸发工艺。它们由陶瓷舟和钨丝组成。陶瓷蒸发舟由氧化铝或石墨等材料制成,用于容纳待蒸发的材料。陶瓷蒸发舟受热后,材料从固态变为气态,从而实现可控蒸发。蒸发舟的形状有助于将蒸气引向基底,从而实现高效沉积。钨丝被用作加热线圈。它与电源相连,电流通过时,钨丝会因电阻而升温。钨丝具有高熔点和良好的导热性,因此适用于这项任务。通过提供热量,金属丝可使陶瓷舟内的材料蒸发,从而实现可控蒸发。

细节和部件

陶瓷蒸发舟套件

陶瓷蒸发舟套件

陶瓷蒸发舟套件

陶瓷蒸发舟套件
配套陶瓷坩埚规格:0.25ml/0.5ml/1.0ml/2.0ml/3.0ml
陶瓷蒸发舟套件
钨丝篮规格:3*1.0 丝-2.0 毫升 / 3*0.8 丝-1.0 毫升 / 3*0.8 丝-0.5 毫升

技术规格

材料 陶瓷坩埚/钨丝
陶瓷坩埚尺寸 0.25 毫升 / 0.5 毫升 / 1.0 毫升 / 2.0 毫升 / 3.0 毫升
钨丝尺寸 3*0.8 线 / 3*1.0 线 / 3*0.8 线

我们展示的坩埚有不同的尺寸,也可根据要求定制尺寸。

优势

  • 精确的薄膜沉积控制
  • 材料沉积的多样性
  • 耐高温
  • 高效传热
  • 可重复和再现的结果
  • 薄膜沉积成本效益高

FAQ

什么是钨舟?

钨船是由钨金属制成的小型容器或托盘。在各种工业和实验室应用中,它们被设计用于在高温下盛放和运输材料。钨舟通常用于蒸发、烧结和热分析等过程。

使用钨舟有哪些优势?

钨舟在高温应用中具有多种优势。首先,钨的熔点极高,达到 3422°C,因此适合在温度极高的环境中使用。钨舟还具有出色的导热性,可实现高效热传导并均匀加热被加工材料。它们具有很高的机械强度,即使在高温下也能承受变形和翘曲。钨具有很强的耐化学腐蚀性,因此钨舟可与多种材料和环境兼容。此外,钨的蒸汽压较低,这意味着它的蒸汽污染极小,因此适合高纯度应用。钨舟的使用寿命长,可反复使用而不会出现明显的老化。

什么是热蒸发源?

热蒸发源是热蒸发系统中用于在基底上沉积薄膜的设备。其工作原理是将材料(蒸发剂)加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。

热蒸发源的主要类型有哪些?

热蒸发源的主要类型包括电阻蒸发源、电子束蒸发源和闪蒸源。每种类型都使用不同的方法加热蒸发物,如电阻加热、电子束加热或直接接触热表面。

热蒸发源是如何工作的?

热蒸发源的工作原理是将电流通过电阻材料,使其加热至高温。热量传递到蒸发剂上,使其熔化和汽化。然后,蒸气通过真空室,凝结在基底上,形成薄膜。

使用蒸发舟有哪些优势?

蒸发舟在薄膜沉积工艺中具有多种优势。它们为材料的蒸发提供受控环境,确保对薄膜厚度和均匀性的精确控制。蒸发舟可承受高温并提供高效热传导,从而实现稳定的蒸发率。蒸发舟有各种尺寸和形状,可适应不同的蒸发系统和基底配置。蒸发舟可以沉积多种材料,包括金属、半导体和陶瓷。它们易于装卸,便于快速更换材料或调整工艺。总之,蒸发舟是薄膜沉积技术的重要工具,具有多功能性、可靠性和可重复性。

蒸发坩埚常用的材料有哪些?

蒸发坩埚通常由钨、钽、钼、石墨或陶瓷化合物等材料制成。这些材料熔点高、导热性好,适合蒸发过程中所需的高温条件。坩埚材料的选择取决于蒸发剂材料、所需薄膜特性和工艺参数等因素。

使用热蒸发源有哪些优势?

热蒸发源的优点包括沉积率高、方向性好、均匀性好以及与各种材料兼容。此外,热蒸发光源还相对简单、经济实惠,因此可广泛应用于薄膜沉积领域。

蒸发舟的典型使用寿命是多久?

蒸发舟的使用寿命取决于多个因素。这主要取决于蒸发舟所使用的材料、操作条件和使用频率。与陶瓷材料制成的蒸发舟相比,钨或钼等难熔金属制成的蒸发舟通常更耐用,使用寿命更长。只要处理得当、定期维护和采用适当的清洁程序,蒸发舟通常可用于多个沉积周期。不过,随着时间的推移,蒸发舟可能会出现磨损,如开裂或降解,这可能会缩短其使用寿命。重要的是要监控蒸发舟的状况,进行定期检查,并在必要时进行更换,以确保持续可靠的薄膜沉积。

使用蒸发坩埚有哪些优势?

蒸发坩埚在薄膜沉积工艺中具有多种优势。它们可为材料蒸发提供受控环境,从而实现对薄膜厚度和均匀性的精确控制。坩埚可承受高温并提供高效热传导,确保稳定的蒸发率。坩埚有各种尺寸和形状,以适应不同的蒸发系统和基底配置。蒸发坩埚还可沉积多种材料,包括金属、半导体和陶瓷。蒸发坩埚易于装卸,便于快速更换材料或调整工艺。总之,蒸发坩埚是薄膜沉积技术的重要工具,具有多功能性、可靠性和可重复性。

热蒸发源有哪些应用?

热蒸发源可用于各种应用,如生产光学涂层、半导体器件和各类薄膜。在需要精确控制基底材料沉积的行业中,热蒸发源尤其有用。

蒸发舟可以重复使用吗?

蒸发舟可以重复使用,但这取决于几个因素。蒸发舟的状况、清洁度以及与不同蒸发材料的兼容性在决定其是否可以重复使用方面起着重要作用。如果蒸发舟状况良好,没有裂缝或缺陷,并已彻底清洁,通常可以重复用于后续沉积。但是,如果蒸发舟接触过活性材料或有降解迹象,则可能不适合重复使用。在重复使用蒸发舟时,要考虑到污染或意外反应的可能性。定期检查和适当的清洁程序对于保持蒸发舟的性能和确保其适合重复使用至关重要。

应如何处理和维护蒸发坩埚?

应小心处理和维护蒸发坩埚,以确保其使用寿命和性能。每次使用前都应彻底清洁坩埚,清除之前沉积的残留物质。避免使用可能损坏坩埚表面的研磨材料。在装载和卸载过程中,应使用干净的手套或专用工具处理坩埚,以防止污染。不使用时,将坩埚存放在干燥清洁的环境中,以避免腐蚀或降解。必须定期检查坩埚是否有裂缝、缺陷或磨损迹象,以防止在蒸发过程中出现意外故障。按照制造商的建议进行退火或表面处理等特定维护程序,以延长坩埚的使用寿命。

如何选择合适的蒸发舟材料?

选择合适的蒸发舟材料取决于几个因素。考虑蒸发材料的熔点,选择熔点较高的蒸发舟材料,以防止蒸发舟失效。此外,还要考虑蒸发舟材料与蒸发剂的相容性,以避免发生反应或污染。应评估舟的导热性和热容量,以便在蒸发过程中有效传热和控制温度。此外,还要考虑蒸发舟的机械性能,如强度和耐用性,以确保其能够承受反复的加热和冷却循环。
查看更多该产品的问题与解答

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