知识 什么是半导体薄膜工艺?4 种关键方法解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是半导体薄膜工艺?4 种关键方法解析

半导体薄膜的制作包括在平面基底上沉积导电、半导体和绝缘材料层。

这一过程对于制造集成电路和分立半导体器件至关重要。

薄膜沉积的主要方法是化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)。

CVD 因其高精度而成为最常用的方法。

这些薄膜对手机、LED 显示屏和光伏电池等各种电子应用中半导体的功能和性能至关重要。

4 种关键方法详解:半导体中的薄膜沉积

什么是半导体薄膜工艺?4 种关键方法解析

薄膜沉积概述

半导体薄膜沉积是指在基底上分层铺设材料,以提供必要的电气性能。

基底通常是硅晶片,薄膜厚度通常小于 1000 纳米。

薄膜沉积方法

化学气相沉积(CVD)

在化学气相沉积法中,气态前驱体在高温室中发生化学反应,在基底上转化为固态涂层。

这种方法非常精确,是半导体行业最常用的方法。

物理气相沉积(PVD)

物理气相沉积包括溅射、热蒸发和电子束蒸发等技术,可产生高纯度涂层。

物理气相沉积包括将原子或分子从加热源蒸发到真空室中,然后在基底上凝结。

薄膜在半导体中的重要性

薄膜是半导体功能和性能的基础。

通过薄膜,可以在单个晶片上同时制造大量有源和无源器件。

这些薄膜的质量和纯度对半导体的应用和性能至关重要。

半导体薄膜的应用

半导体薄膜在移动电话、LED 显示屏和光伏电池等各种电子应用中至关重要。

这些薄膜的最佳制造条件对于确保高性能和可靠性至关重要。

薄膜沉积过程

沉积过程开始时,粒子从源发射出来,然后被传送到基底并在其表面凝结。

这一过程对于在半导体上形成非常薄、非常纯的涂层至关重要。

总之,半导体薄膜的形成过程是现代电子设备制造过程中复杂而关键的一步。

沉积方法的选择和薄膜分层的精度直接影响到最终半导体产品的功能和性能。

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