选择真空室内使用的材料时，避免使用可能脱气、降解或污染真空环境的物质至关重要。橡胶、某些塑料和粘合剂等材料通常不适合，因为它们在真空条件下容易释放气体或颗粒。相反，不锈钢、陶瓷和硅胶等材料因其耐用性和最小的排气特性而成为首选。真空环境对于溅射、烧结和热处理等工艺至关重要，因为它可以确保无菌、防止氧化并保持最终产品的质量。正确的密封和材料选择对于保持真空完整性和实现最佳结果至关重要。
要点解释：
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真空完整性的重要性 ：
- 维持真空环境对于烧结、溅射和热处理等工艺至关重要。真空可防止氧化、污染，并确保最终产品的质量。
- 例如，在一个 真空热压机 ，大气中气体的缺乏有利于原子扩散，从而产生高密度的固体产物。
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应避免的材料 ：
- 橡胶和某些塑料 ：这些材料容易脱气，释放挥发性有机化合物 (VOC)，从而污染真空环境并降低工艺性能。
- 粘合剂和密封剂 ：许多粘合剂含有溶剂或化合物，它们会在真空下释放气体，从而损害腔室的完整性。
- 高蒸气压材料 ：应避免使用铅或其他挥发性金属等物质，因为它们会蒸发并污染腔室。
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优选材料 ：
- 不锈钢 ：不锈钢以其耐用性和低释气特性而闻名，广泛用于真空室和组件。
- 陶瓷 ：陶瓷非常适合高温应用，并且释气量极低，因此适用于真空环境。
- 硅酮 ：在真空系统中通常使用硅胶管代替橡胶，因为它的老化速度更慢并且具有更好的防脱气性。
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密封和结构注意事项 ：
- 气密焊接和密封结构对于保持真空完整性至关重要。水冷电极和热电偶输出装置等配件的设计必须能够最大限度地减少漏气。
- 高效排烟系统对于保持清洁的真空环境也很重要，特别是在溅射等工艺中。
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热处理中的真空度 ：
- 真空热处理炉通常在 1.33 至 1.33 x 10^-3 Pa 的真空水平下运行。了解所需的真空水平对于选择合适的材料和确保工艺效率至关重要。
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实际意义 ：
- 在溅射中，真空可确保无菌并防止污染，这对于实现高质量薄膜沉积至关重要。
- 对于烧结，真空环境可以防止氧化，并可以更好地控制过程，从而提高最终产品的物理和机械性能。
通过仔细选择材料并确保适当的密封，您可以保持真空室的完整性并在各种工业过程中获得最佳结果。
汇总表：
| 类别 | 应避免的材料 | 优选材料 |
|---|---|---|
| 除气材料 | 橡胶、某些塑料、粘合剂 | 不锈钢、陶瓷 |
| 高蒸气压 | 铅、挥发性金属 | 硅酮 |
| 密封要求 | 溶剂型密封剂 | 气密焊接，硅胶 |
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