测量薄膜厚度对于从研究到工业流程的各种应用都至关重要。
目前有不同的技术，每种技术都适合特定的材料和要求。
选择哪种方法取决于材料的透明度、所需精度和相关的特定属性等因素。
4 种关键技术说明
1.机械方法
测针轮廓测量法
这种方法是用测针在薄膜表面进行物理扫描。
它测量薄膜与基底之间的高度差。
通常是通过掩蔽或蚀刻基底的某些部分来形成凹槽或台阶。
然后根据测量的轮廓计算出厚度。
干涉测量法
这种技术利用光波的干涉来测量厚度。
它需要一个高反射表面来产生干涉条纹。
通过分析这些干涉条纹来确定厚度。
与测针轮廓仪一样，它需要一个台阶或凹槽，对薄膜的均匀性非常敏感。
2.非破坏性、非接触式方法
椭偏仪
这种方法测量光与薄膜相互作用后偏振的变化。
它可以确定薄膜的厚度和光学特性（折射率和消光系数）。
椭偏仪尤其适用于厚度达 1000Å 的薄膜。
它在透明基底方面面临挑战，可能需要进行破坏性制备才能获得准确的测量结果。
3.测量技术的选择
技术的选择取决于材料的特性和所需的具体信息。
对于透明材料，透射测量可能是首选。
不透明基底可能需要进行反射测量。
折射率、表面粗糙度、密度和结构特性也会影响测量方法的选择。
4.总结
测量薄膜厚度需要根据材料的特性和应用的具体要求选择合适的技术。
测针轮廓仪和干涉仪等机械方法需要物理接触或改变样品。
非接触式方法（如椭偏仪）具有更多功能，但可能需要对某些材料进行特殊考虑。
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