溅射靶材的寿命会因多种因素而有很大差异。这些因素包括靶材材料、应用功率、占空比和冷却效率。一般来说，溅射靶材在需要更换之前可以承受一定量的能量。
溅射靶材的使用寿命有多长？需要考虑的 4 个关键因素
1.材料和功率应用
溅射靶材的材料类型对其寿命起着至关重要的作用。例如，钼靶用于生产导电薄膜，并受特定功率设置的限制。
施加到靶材上的能量是脉冲式的。这意味着在高压能量（约 100 µs, kW-cm-2）爆发后，会有一段较低或无能量的时间，这段时间被称为 "非工作 "时间。
这种脉冲使目标冷却，并将平均功率降至 1-10 kW，从而保持工艺稳定性。
2.冷却效率
有效冷却对延长溅射靶的寿命至关重要。传统设计在靶和冷却系统之间有多个热界面，这可能会阻碍热传递。
然而，最新的设计可实现与冷却井的直接连接，将传热界面的数量减少到一个。导热真空润滑脂可以增强这种效果。
这种直接冷却方法允许更高的沉积率和更长的靶材寿命。
3.能量分布
在溅射过程中，只有约 1% 的入射离子能量用于喷射靶材。其余能量分布如下：75% 的能量用于加热靶材，其余 24% 的能量被次级电子耗散。
这种能量分布突出了高效冷却的重要性，以防止靶材达到临界温度，从而降低其性能或造成损坏。
4.尺寸和形状
溅射靶材的尺寸和形状也会影响其使用寿命。较大的靶材可能需要分段设计，以方便冷却和处理。
这可能会影响每个分段在运行中的持续时间。
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