石英管可以承受很大的压力。表面质量良好的熔融石英的设计抗拉强度超过 4.8 x 10^7 Pa（7,000 psi）。这意味着石英管可以承受高达 4.8 x 10^7 Pa 或 7,000 psi 的压力而不会断裂或失效。
在上述 LPCVD 炉系统中，工作压力规定为 45,000 psi (310 MPa)。这表明该系统中使用的石英管可承受高达 45,000 psi 的压力而不会出现任何问题。
此外，上述沉积系统中的真空室能够在短时间内达到最低压力。真空室内部的压力对样品覆盖过程和沉积薄膜的质量起着至关重要的作用。为了准确监测真空室内的压力，需要使用可靠、准确的压力表。上述沉积系统中使用的压力表能够显示大气压至 10^-9 托的压力。
值得注意的是，在某些过程中，保持低压对防止试样受到化学影响非常重要。例如，在真空炉中使用碳气氛时，有必要将压力保持在 1 或 2 毫米以下，以避免对试样产生任何明显的化学影响。通常使用一根一端封闭并悬挂在炉子冷却部分的耐火瓷管来保护试样免受碳蒸汽或颗粒的影响。该管有助于减少还原气体通过试样的机会，从而降低整体的还原作用。
总之，石英管所能承受的具体压力取决于其设计和质量。在上述参考文献中，石英管设计用于承受高压，其中 LPCVD 炉系统的工作压力为 45,000 psi (310 MPa)。
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