溅射靶材的厚度会因多种因素而变化。
这些因素包括所使用的材料和所生成薄膜的性质。
对于镍等磁性材料的磁控溅射，需要使用较薄的靶材。
这通常是厚度小于 1 毫米的箔或薄片。
对于普通金属靶材，厚度达到 4 至 5 毫米是可以接受的。
这同样适用于氧化物靶材。
溅射靶材的尺寸和形状也有很大差异。
最小的溅射靶直径不到一英寸（2.5 厘米）。
而最大的长方形靶材长度可远远超过一码（0.9 米）。
在某些情况下，可能需要更大的目标。
制造商可以制造由特殊接头连接的分段靶材。
常用的溅射靶材形状为圆形和矩形。
虽然也可以生产其他形状的靶材，如正方形和三角形。
圆形靶材的标准尺寸从直径 1 英寸到 20 英寸不等。
矩形靶的长度可达 2000 毫米或更长。
这取决于金属以及是单件还是多件结构。
溅射靶材的制造方法取决于靶材的特性及其应用。
可采用真空熔炼和轧制、热压、特殊冲压烧结工艺、真空热压和锻造等方法。
溅射靶材通常是由纯金属、合金或氧化物或氮化物等化合物制成的固体板材。
通过溅射沉积的涂层厚度通常在埃到微米之间。
薄膜可以是单一材料，也可以是分层结构中的多种材料。
反应溅射是另一种工艺，使用氧气等非惰性气体与元素靶材料结合。
这会产生化学反应，形成新的化合物薄膜。
总之，溅射靶材的厚度因材料和应用而异。
磁性材料的厚度小于 1 毫米，普通金属和氧化物靶材的厚度可达 4 至 5 毫米。
溅射靶材的尺寸和形状也有很大差异。
圆形靶的直径从 1 英寸到 20 英寸不等，矩形靶的长度可达 2000 毫米以上。
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