溅射靶材的厚度会因使用的材料和所生成薄膜的性质而有所不同。
对于镍等磁性材料的磁控溅射,需要使用较薄的靶材,通常是厚度小于 1 毫米的箔片或薄片。
对于普通金属靶材,厚度达到 4 至 5 毫米是可以接受的。这同样适用于氧化物靶材。
溅射靶材的尺寸和形状也有很大差异。最小的靶材直径可能小于一英寸(2.5 厘米),而最大的矩形靶材长度可能超过一码(0.9 米)。在某些情况下,可能需要更大的靶材,制造商可以制造出用特殊接头连接的分段靶材。
常用的溅射靶材形状为圆形和矩形,但也可以生产其他形状的靶材,如正方形和三角形设计。
圆形靶材的标准尺寸从直径 1 英寸到 20 英寸不等,矩形靶材的长度可达到或超过 2000 毫米,具体取决于金属以及是单件还是多件结构。
溅射靶材的制造方法取决于靶材的特性及其应用。可采用真空熔炼和轧制、热压、特殊冲压烧结工艺、真空热压和锻造等方法。
溅射靶材通常是由纯金属、合金或氧化物或氮化物等化合物制成的固体板材。通过溅射沉积的涂层厚度通常在埃到微米之间。薄膜可以是单一材料,也可以是分层结构中的多种材料。
反应溅射是另一种工艺,在这种工艺中,非惰性气体(如氧气)与元素目标材料结合使用,产生化学反应,形成新的化合物薄膜。
总之,溅射靶材的厚度因材料和应用而异,从磁性材料的不到 1 毫米到普通金属和氧化物靶材的 4 至 5 毫米不等。溅射靶材的尺寸和形状也有很大差异,圆形靶材的直径从 1 英寸到 20 英寸不等,矩形靶材的长度可达或超过 2000 毫米。
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