扫描电子显微镜的溅射涂层厚度通常为 2 到 20 纳米 (nm)。
这种超薄涂层用于非导电或导电性差的试样，以防止充电并提高成像时的信噪比。
金属（如金、银、铂或铬）的选择取决于样品的具体要求和分析类型。
SEM 的溅射涂层有多厚？(4 个要点说明）
1.溅射涂层的目的
溅射涂层对扫描电子显微镜至关重要，因为它能在不导电或导电性差的样品上形成导电层。
这种涂层有助于防止静态电场的积累，因为静态电场会使图像失真或损坏样品。
此外，它还能增加二次电子的发射，从而提高扫描电镜图像的质量。
2.厚度范围
用于 SEM 的溅射薄膜的典型厚度在 2 到 20 nm 之间。
选择这个范围是为了确保涂层足够薄，不会遮挡样品的细节，但又足够厚，以提供足够的导电性。
对于低倍扫描电子显微镜，10-20 纳米的涂层就足够了，不会影响成像。
但是，对于分辨率小于 5 纳米的高倍率扫描电镜，最好使用较薄的涂层（低至 1 纳米），以避免遮挡样品细节。
3.涂层材料类型
溅射涂层的常用材料包括金、银、铂和铬。
根据样品和分析类型的不同，每种材料都有其特定的优点。
例如，金因其出色的导电性而经常被使用，而铂则可能因其耐用性而被选用。
在某些情况下，碳涂层是首选，尤其是在 X 射线光谱和电子反向散射衍射（EBSD）中，金属涂层可能会干扰对样品晶粒结构的分析。
4.设备和技术
溅射镀膜机的选择也会影响涂层的质量和厚度。
基本溅射镀膜机适用于低倍扫描电镜，在较低真空度下工作，可沉积 10-20 纳米的涂层。
而高端溅射镀膜机则提供更高的真空度、惰性气体环境和精确的厚度监控，可以镀出对高分辨率 SEM 和 EBSD 分析至关重要的极薄涂层（低至 1 纳米）。
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