电子束（E-beam）蒸发中的电子束用于在真空环境中加热和汽化样品。以下是详细说明：
摘要：
电子束由灯丝产生，在电场和磁场的引导下射向源材料，源材料通常放置在坩埚中。电子的高动能传递到材料上，使其升温并最终汽化。气化后的原子或分子穿过真空室，沉积在上方的基底上。
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详细说明：
- 电子束的产生和转向：
- 电子束由灯丝产生，并通过高压电场加速到高动能（高达 10 kV）。
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电场和磁场用于将电子束精确地转向源材料，源材料通常为颗粒状或置于坩埚中的块状。
- 能量转移和汽化：
- 当电子束撞击源材料时，其动能会转化为热能，从而提高材料的温度。
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随着材料的升温，其表面原子会获得足够的能量，以克服将它们固定在块状材料上的结合力，从而使它们以蒸汽的形式离开表面。
- 蒸发和沉积：
- 气化的原子或分子以热能（小于 1 eV）穿过真空室，不受其他粒子的干扰，确保 "视线 "沉积到工作距离为 300 毫米至 1 米的基底上。
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这种方法尤其适用于传统方法难以蒸发的高熔点材料的沉积。它还能在相对较低的基底温度下实现较高的沉积率。
- 优点和注意事项：
- 蒸发材料的到达能量低，有利于敏感基底，但基底下方的强电子束能量传递辐射可能是一个重要因素。
使用冷却坩埚有助于防止杂质从坩埚扩散到装料，从而保持蒸发材料的纯度。审查和更正：
