电子束(E-beam)蒸发中的电子束用于在真空环境中加热和汽化样品。
4 个关键步骤说明
1.电子束的产生和转向
电子束由灯丝产生。
电子束通过高压电场加速到高动能(高达 10 kV)。
电场和磁场用于将电子束精确地转向源材料。
源材料通常为颗粒状或置于坩埚中的块状。
2.能量转移和汽化
当电子束撞击源材料时,其动能会转化为热能。
这将提高材料的温度。
随着材料的升温,其表面原子会获得足够的能量,以克服将它们固定在主体材料上的束缚力。
这使得它们以蒸汽的形式离开表面。3.蒸发和沉积气化的原子或分子以热能(小于 1 eV)穿过真空室。它们不受其他粒子的干扰,确保在工作距离为 300 毫米至 1 米的基底上进行 "视线 "沉积。