知识 电子束对蒸发的样品有什么作用?解释 4 个关键步骤
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

电子束对蒸发的样品有什么作用?解释 4 个关键步骤

电子束(E-beam)蒸发中的电子束用于在真空环境中加热和汽化样品。

4 个关键步骤说明

电子束对蒸发的样品有什么作用?解释 4 个关键步骤

1.电子束的产生和转向

电子束由灯丝产生。

电子束通过高压电场加速到高动能(高达 10 kV)。

电场和磁场用于将电子束精确地转向源材料。

源材料通常为颗粒状或置于坩埚中的块状。

2.能量转移和汽化

当电子束撞击源材料时,其动能会转化为热能。

这将提高材料的温度。

随着材料的升温,其表面原子会获得足够的能量,以克服将它们固定在主体材料上的束缚力。

这使得它们以蒸汽的形式离开表面。3.蒸发和沉积气化的原子或分子以热能(小于 1 eV)穿过真空室。它们不受其他粒子的干扰,确保在工作距离为 300 毫米至 1 米的基底上进行 "视线 "沉积。

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