知识 PVD 和溅射有什么区别?(5 个要点详解)
作者头像

技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

PVD 和溅射有什么区别?(5 个要点详解)

在基底上沉积材料时,有两种常见的方法,即物理气相沉积(PVD)和溅射。

这两种方法的主要区别在于沉积材料的方法不同。

物理气相沉积法的范围较广,包括各种沉积薄膜的技术。

而溅射则是一种特定的 PVD 方法,包括通过高能离子轰击将材料从目标喷射出来。

5 个要点说明

PVD 和溅射有什么区别?(5 个要点详解)

1.物理气相沉积(PVD)

物理气相沉积是一个通用术语,包含几种用于在基底上沉积薄膜的方法。

这些方法通常是将固体材料转化为蒸气,然后将蒸气沉积到表面。

选择 PVD 技术的依据是最终薄膜所需的特性,如附着力、密度和均匀性。

常见的 PVD 方法包括溅射、蒸发和离子镀。

2.溅射

溅射是一种特殊的 PVD 技术,原子在高能粒子(通常是离子)的轰击下从固体目标材料中喷射出来。

该过程在真空室中进行,目标(待沉积材料)受到离子(通常来自氩气)的轰击。

这些离子的撞击导致原子从目标中喷射出来,随后沉积到基底上。

这种方法对于沉积包括金属、半导体和绝缘体在内的多种材料特别有效,而且纯度高、附着力好。

3.与其他 PVD 方法的比较

溅射是通过离子轰击喷射材料,而蒸发等其他 PVD 方法则是将源材料加热到气化点。

在蒸发过程中,材料被加热直至变成蒸汽,然后在基底上凝结。

这种方法比溅射更简单,成本更低,但可能不适合沉积熔点高或成分复杂的材料。

4.应用和优势

由于溅射法能够均匀、高纯度地沉积材料,因此在 LED 显示屏、滤光片和精密光学器件等需要高质量涂层的应用中备受青睐。

该工艺还可通过控制来实现特定的薄膜特性,如应力和导电性。

5.历史背景

溅射技术自 20 世纪 70 年代问世以来,已经有了长足的发展。

磁控溅射等先进溅射技术的发展扩大了其在航空航天、太阳能和微电子等各个行业的应用。

继续探索,咨询我们的专家

与 KINTEK SOLUTION 一起探索 PVD 溅射技术的尖端精度。

从增强 LED 显示屏到优化光学滤光片,我们先进的溅射方法可提供无与伦比的均匀性和纯度。

今天就联系我们,提升您的材料涂层水平,探索 KINTEK SOLUTION 的全方位专业技术。

相关产品

等离子体增强蒸发沉积 PECVD 涂层机

等离子体增强蒸发沉积 PECVD 涂层机

使用 PECVD 涂层设备升级您的涂层工艺。是 LED、功率半导体、MEMS 等领域的理想之选。在低温下沉积高质量的固体薄膜。

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

射频等离子体增强化学气相沉积系统 射频等离子体增强化学气相沉积系统

RF-PECVD 是 "射频等离子体增强化学气相沉积 "的缩写。它能在锗和硅基底上沉积 DLC(类金刚石碳膜)。其波长范围为 3-12um 红外线。

高纯钯(Pd)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯钯(Pd)溅射靶材/粉/丝/块/粒

正在为您的实验室寻找价格合理的钯材料?我们提供不同纯度、形状和尺寸的定制解决方案--从溅射靶材到纳米粉末和 3D 打印粉末。现在就浏览我们的产品系列!

倾斜旋转式等离子体增强化学沉积(PECVD)管式炉设备

倾斜旋转式等离子体增强化学沉积(PECVD)管式炉设备

介绍我们的倾斜旋转式 PECVD 炉,用于精确的薄膜沉积。可享受自动匹配源、PID 可编程温度控制和高精度 MFC 质量流量计控制。内置安全功能让您高枕无忧。

火花等离子烧结炉 SPS 炉

火花等离子烧结炉 SPS 炉

了解火花等离子烧结炉在快速、低温材料制备方面的优势。加热均匀、成本低且环保。

高纯钒(V)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯钒(V)溅射靶材/粉/丝/块/粒

您正在为您的实验室寻找高质量的钒(V)材料吗?我们提供多种可定制的选择,包括溅射靶材、粉末等,以满足您的独特需求。现在就联系我们,了解具有竞争力的价格。

拉丝模纳米金刚石涂层 HFCVD 设备

拉丝模纳米金刚石涂层 HFCVD 设备

纳米金刚石复合涂层拉丝模以硬质合金(WC-Co)为基体,采用化学气相法(简称 CVD 法)在模具内孔表面涂覆传统金刚石和纳米金刚石复合涂层。

带液体气化器的滑动 PECVD 管式炉 PECVD 设备

带液体气化器的滑动 PECVD 管式炉 PECVD 设备

KT-PE12 滑动 PECVD 系统:功率范围广、可编程温度控制、滑动系统快速加热/冷却、MFC 质量流量控制和真空泵。

高纯铅(Pb)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯铅(Pb)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在为您的实验室需求寻找高质量的铅(Pb)材料吗?我们有专门的可定制选择,包括溅射靶材、涂层材料等。现在就联系我们,了解具有竞争力的价格!

高纯氧化钒(V2O3)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯氧化钒(V2O3)溅射靶材/粉/丝/块/粒

以合理的价格为您的实验室购买氧化钒(V2O3)材料。我们提供不同纯度、形状和尺寸的定制解决方案,以满足您的独特要求。浏览我们精选的溅射靶材、粉末、金属箔等。

铜锆合金 (CuZr) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

铜锆合金 (CuZr) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

了解我们根据您的独特需求量身定制的价格合理的铜锆合金材料系列。浏览我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品。

高纯度钛 (Ti) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度钛 (Ti) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格购买实验室用高品质钛 (Ti) 材料。您可以找到适合您独特需求的各种定制产品,包括溅射靶材、涂层、粉末等。


留下您的留言