材料蒸发主要有两种方法：热蒸发和电子束蒸发。
5 个考虑要点
1.加热方法
热蒸发使用电流加热坩埚。
电子束蒸发使用高能电子束直接加热材料。
2.适用性
热蒸发更适合熔点较低的材料，如金属和非金属。
电子束蒸发可处理温度较高的材料，包括难熔金属。
3.沉积率和纯度
电子束蒸发通常具有较高的沉积率。
电子束蒸发可产生纯度更高的薄膜，因为它避免了对坩埚的加热，而坩埚加热会引入杂质。
4.设备和可扩展性
电子束蒸发需要更复杂和昂贵的设备。
对于许多应用而言，热蒸发更简单、更具成本效益。
5.具体要求
在热蒸发和电子束蒸发之间做出选择取决于待蒸发材料的具体要求、所需的纯度和沉积率，以及可用设备的预算和复杂程度。
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