在制作薄膜时，有两种常见的方法，即热蒸发和电子束蒸发。
这两种方法的主要区别在于如何蒸发材料。
1.加热法
热蒸发法： 这种方法使用电流加热坩埚。
坩埚中装有需要蒸发的材料。
当坩埚加热时，里面的材料熔化，然后蒸发。
电子束蒸发： 这种方法使用高能电子束直接加热材料。
高能电子将材料加热到高温，使其蒸发。
2.材料适用性
热蒸发： 这种方法最适合熔点较低的材料。
例如金属和非金属。
电子束蒸发： 这种方法可以处理熔点较高的材料。
它尤其适用于难熔金属，如钨、钽或石墨。
3.纯度和杂质
热蒸发法： 这种方法可能导致薄膜涂层的密度较低。
此外，由于坩埚会被加热，因此产生杂质的风险更大。
电子束蒸发： 这种方法通常能获得纯度较高的薄膜。
局部加热和无坩埚加热降低了产生杂质的风险。
4.沉积速率
热蒸发： 与电子束蒸发相比，沉积率通常较低。
电子束蒸发： 这种方法的沉积率较高。
5.复杂性和成本
热蒸发： 这种方法更简单，成本更低。
电子束蒸发： 这种方法需要复杂而昂贵的电子设备。
它还需要先进的安全功能。
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