反应溅射是一种涉及从金属靶上溅射出的原子与从基底上的放电气体中扩散出的反应气体分子之间发生化学反应的过程。
这种反应生成化合物薄膜，作为基底上的涂层材料。
5 个要点说明
1.引入非惰性气体
在反应溅射过程中，氧气或氮气等非惰性气体与硅等元素靶材一起被引入溅射室。
2.基片上的化学反应
当金属分子从靶材到达基片表面时，会与反应气体分子发生反应，形成新的化合物。
然后，这种化合物以薄膜的形式沉积在基底上。
3.硬涂层的形成
工艺中使用的反应气体（如氮气或氧气）与基底表面的金属分子发生化学反应，形成坚硬的涂层。
4.4. 溅射与 CVD 的结合
反应溅射工艺结合了传统溅射和化学气相沉积（CVD）的原理。
它需要使用大量的反应气体来生长薄膜，并将多余的气体抽出。
5.薄膜成分控制
薄膜的成分可通过调整惰性气体和活性气体的相对压力来控制。
薄膜的化学计量是优化功能特性（如 SiNx 的应力和 SiOx 的折射率）的重要参数。
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