知识 溅射靶材的过程是什么?薄膜沉积的 7 个步骤
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

溅射靶材的过程是什么?薄膜沉积的 7 个步骤

溅射靶材工艺包括使用物理气相沉积(PVD)技术在基底上沉积薄膜。

  1. 真空室简介:待镀膜的基片被放置在真空室中。

  2. 该真空室包含两块磁铁,初始抽真空以形成真空环境。

  3. 真空室的基本压力极低,通常约为 10^-6 毫巴,约为正常大气压力的十亿分之一。

  4. 引入惰性气体:将受控气体(通常是化学惰性气体氩)引入真空室。

  5. 气体原子不断流动,形成适合溅射过程的低气压气氛。

  6. 产生等离子体:向真空室中的阴极施加电流。

  7. 该阴极也称为靶材,由将要沉积到基底上的材料制成。

  8. 电流使氩气电离,变成等离子体。

  9. 在这种状态下,气体原子因失去电子而变成带正电的离子。

  10. 靶材溅射:被电离的气体原子在磁场的作用下加速冲向靶材。

  11. 当它们击中目标时,会使目标材料中的原子或分子发生错位。

  12. 这一过程称为溅射。溅射材料形成蒸汽流。

  13. 沉积到基底上:来自靶材的气化材料穿过腔体,沉积到基底上,形成一层薄膜或涂层。

  14. 这种薄膜通常是均匀的,并能很好地附着在基底上。

  15. 冷却和控制:在加工过程中,使用水冷却靶材,以散发产生的热量。

  16. 这对于保持靶材的完整性和防止设备损坏至关重要。

  17. 质量控制和分析:溅射过程结束后,要对沉积薄膜的质量进行分析。

  18. 每批生产的材料都要经过各种分析过程,以确保其符合规定的标准。

  19. 每次装运都会提供一份分析证书,以证明溅射靶材的质量。

这一工艺在各行各业都至关重要,尤其是在半导体生产中,它被用来形成导电层。

溅射靶材必须确保高化学纯度和冶金均匀性,以满足这些应用的严格要求。

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