知识 溅射靶材的过程是什么?薄膜沉积的 7 个步骤
作者头像

技术团队 · Kintek Solution

更新于 1个月前

溅射靶材的过程是什么?薄膜沉积的 7 个步骤

溅射靶材工艺包括使用物理气相沉积(PVD)技术在基底上沉积薄膜。

  1. 真空室简介:待镀膜的基片被放置在真空室中。

  2. 该真空室包含两块磁铁,初始抽真空以形成真空环境。

  3. 真空室的基本压力极低,通常约为 10^-6 毫巴,约为正常大气压力的十亿分之一。

  4. 引入惰性气体:将受控气体(通常是化学惰性气体氩)引入真空室。

  5. 气体原子不断流动,形成适合溅射过程的低气压气氛。

  6. 产生等离子体:向真空室中的阴极施加电流。

  7. 该阴极也称为靶材,由将要沉积到基底上的材料制成。

  8. 电流使氩气电离,变成等离子体。

  9. 在这种状态下,气体原子因失去电子而变成带正电的离子。

  10. 靶材溅射:被电离的气体原子在磁场的作用下加速冲向靶材。

  11. 当它们击中目标时,会使目标材料中的原子或分子发生错位。

  12. 这一过程称为溅射。溅射材料形成蒸汽流。

  13. 沉积到基底上:来自靶材的气化材料穿过腔体,沉积到基底上,形成一层薄膜或涂层。

  14. 这种薄膜通常是均匀的,并能很好地附着在基底上。

  15. 冷却和控制:在加工过程中,使用水冷却靶材,以散发产生的热量。

  16. 这对于保持靶材的完整性和防止设备损坏至关重要。

  17. 质量控制和分析:溅射过程结束后,要对沉积薄膜的质量进行分析。

  18. 每批生产的材料都要经过各种分析过程,以确保其符合规定的标准。

  19. 每次装运都会提供一份分析证书,以证明溅射靶材的质量。

这一工艺在各行各业都至关重要,尤其是在半导体生产中,它被用来形成导电层。

溅射靶材必须确保高化学纯度和冶金均匀性,以满足这些应用的严格要求。

继续探索,咨询我们的专家

溅射靶材的过程是什么?薄膜沉积的 7 个步骤

使用 KINTEK 溅射靶材实现高精度!

使用 KINTEK 的高纯溅射靶材,将您的薄膜应用提升到一个新的水平。我们先进的 PVD 技术可确保每个靶材都具有无与伦比的均匀性和附着力,是关键半导体和电子产品制造的理想之选。体验 KINTEK 与众不同的质量和性能。请立即联系我们,详细了解我们的产品及其如何提升您的生产工艺。您的卓越薄膜涂层之路从 KINTEK 开始!

相关产品

碳化硼 (BC) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

碳化硼 (BC) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室需求提供高质量的碳化硼材料。我们可定制不同纯度、形状和尺寸的碳化硼材料,包括溅射靶材、涂层、粉末等。

高纯铅(Pb)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯铅(Pb)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在为您的实验室需求寻找高质量的铅(Pb)材料吗?我们有专门的可定制选择,包括溅射靶材、涂层材料等。现在就联系我们,了解具有竞争力的价格!

钨钛合金(WTi)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

钨钛合金(WTi)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

了解我们的钨钛合金 (WTi) 实验室材料,价格实惠。我们的专业知识使我们能够生产不同纯度、形状和尺寸的定制材料。您可以从各种溅射靶材、粉末等产品中进行选择。

铜锆合金 (CuZr) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

铜锆合金 (CuZr) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

了解我们根据您的独特需求量身定制的价格合理的铜锆合金材料系列。浏览我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品。

硫化锌 (ZnS) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

硫化锌 (ZnS) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

为您的实验室需求提供经济实惠的硫化锌 (ZnS) 材料。我们生产和定制不同纯度、形状和尺寸的 ZnS 材料。有多种溅射靶材、涂层材料、粉末等可供选择。

高纯铝(Al)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯铝(Al)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以实惠的价格获取实验室用高品质铝 (Al) 材料。我们提供定制解决方案,包括溅射靶材、粉末、铝箔、铝锭等,以满足您的独特需求。立即订购!

高纯钴(Co)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯钴(Co)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

根据您的独特需求,为您提供经济实惠的实验室用钴(Co)材料。我们的产品范围包括溅射靶材、粉末、箔等。如需定制解决方案,请立即联系我们!

碲化钴 (CoTe) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

碲化钴 (CoTe) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您提供实验室所需的高质量碲化钴材料。我们提供定制的形状、尺寸和纯度,包括溅射靶材、涂层、粉末等。

硫化锡 (SnS2) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

硫化锡 (SnS2) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室找到高质量的硫化锡 (SnS2) 材料。我们的专家生产和定制材料,以满足您的特定需求。请查看我们的溅射靶材、涂层材料、粉末等产品系列。

高纯度铱(Ir)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度铱(Ir)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

正在寻找用于实验室的高品质铱 (Ir) 材料?别再犹豫了!我们专业生产和定制的材料有各种纯度、形状和尺寸,可满足您的独特需求。请查看我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品系列。立即获取报价!

高纯锗(Ge)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯锗(Ge)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室需求提供高品质的金材料。我们定制的金材料有各种形状、尺寸和纯度,可满足您的独特要求。了解我们的溅射靶材、涂层材料、箔、粉末等产品系列。

高纯锡(Sn)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯锡(Sn)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在寻找用于实验室的高质量锡(Sn)材料吗?我们的专家以合理的价格提供可定制的锡(Sn)材料。立即查看我们的各种规格和尺寸!

高纯锆(Zr)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯锆(Zr)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在为您的实验室需求寻找高品质的锆材料吗?我们有一系列价格合理的产品,包括溅射靶材、涂层、粉末等,可根据您的独特需求量身定制。现在就联系我们!

高纯铈(Ce)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯铈(Ce)溅射靶材/粉/丝/块/粒

您正在为您的实验室寻找高质量的铈(Ce)材料吗?我们的专长在于生产和定制不同纯度、形状和尺寸的材料,以满足您的独特要求。我们提供各种规格和尺寸的材料,包括溅射靶材、涂层材料、粉末等,而且价格合理。

碳化钛 (TiC) 溅射靶材/粉末/线材/块材/颗粒

碳化钛 (TiC) 溅射靶材/粉末/线材/块材/颗粒

以合理的价格为您的实验室提供高质量的碳化钛 (TiC) 材料。我们提供各种形状和尺寸的产品,包括溅射靶材、粉末等。根据您的特定需求量身定制。


留下您的留言