知识 什么是溅射镀膜技术?5 大要点解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是溅射镀膜技术?5 大要点解析

溅射涂层是一种用于在各种材料上涂覆薄而功能性涂层的方法。

该技术属于物理气相沉积(PVD)工艺的一部分。

该工艺需要使用一个充满氩气的真空室。

在真空室中,离子被加速冲向目标材料,使其喷射出来并在基底上形成涂层。

这将在原子层面上形成牢固的结合。

什么是溅射镀膜技术?5 个要点说明

什么是溅射镀膜技术?5 大要点解析

1.工艺启动

溅射镀膜工艺通过对溅射阴极充电开始。

这将产生等离子体,通常在真空室中使用氩气。

目标材料将附着在阴极上,并被涂覆到基底上。

2.离子轰击

施加高压,产生辉光放电。

这种放电会加速离子(通常是氩离子)射向靶材表面。

这些离子轰击靶材,通过一种称为溅射的过程将材料喷射出来。

3.在基底上沉积

喷射出的靶材形成蒸汽云,向基底移动。

一旦接触,就会凝结并形成涂层。

可以引入氮气或乙炔等反应性气体来强化这一过程,从而形成反应性溅射。

4.溅射涂层的特点

溅射涂层以光滑和均匀著称。

它们适用于各种应用,包括电子、汽车和食品包装。

该工艺可精确控制涂层厚度,这对光学涂层至关重要。

5.优缺点

溅射技术具有使用射频或中频功率为非导电材料镀膜的能力等优点。

它还能提供出色的镀层均匀性和无液滴的平滑镀层。

不过,它也有一些缺点,包括沉积速度比其他方法慢,等离子体密度较低。

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