溅射涂层是一种用于在各种材料上涂覆薄而功能性涂层的方法。
该技术属于物理气相沉积(PVD)工艺的一部分。
该工艺需要使用一个充满氩气的真空室。
在真空室中,离子被加速冲向目标材料,使其喷射出来并在基底上形成涂层。
这将在原子层面上形成牢固的结合。
什么是溅射镀膜技术?5 个要点说明
1.工艺启动
溅射镀膜工艺通过对溅射阴极充电开始。
这将产生等离子体,通常在真空室中使用氩气。
目标材料将附着在阴极上,并被涂覆到基底上。
2.离子轰击
施加高压,产生辉光放电。
这种放电会加速离子(通常是氩离子)射向靶材表面。
这些离子轰击靶材,通过一种称为溅射的过程将材料喷射出来。
3.在基底上沉积
喷射出的靶材形成蒸汽云,向基底移动。
一旦接触,就会凝结并形成涂层。
可以引入氮气或乙炔等反应性气体来强化这一过程,从而形成反应性溅射。
4.溅射涂层的特点
溅射涂层以光滑和均匀著称。
它们适用于各种应用,包括电子、汽车和食品包装。
该工艺可精确控制涂层厚度,这对光学涂层至关重要。
5.优缺点
溅射技术具有使用射频或中频功率为非导电材料镀膜的能力等优点。
它还能提供出色的镀层均匀性和无液滴的平滑镀层。
不过,它也有一些缺点,包括沉积速度比其他方法慢,等离子体密度较低。
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