PVD 电镀使用多种材料，包括钛、锆、铝、不锈钢、铜以及氮化钛、氧化铝和类金刚石碳等各种化合物。选择这些材料的原因在于它们的耐用性、耐磨性以及提高所应用基材性能的能力。
钛和钛化合物： 钛是 PVD 电镀中常用的材料，因为它具有强度和耐腐蚀性。氮化钛（TiN）在提供磨损保护方面尤其受欢迎，被广泛用于机床涂层等应用中。碳化钛（TiC）和碳氮化钛（TiCN）也因其硬度和耐磨性而被广泛使用。
锆和锆化合物： 锆及其化合物（如氮化锆 (ZrN) 和氧化锆 (ZrO2)）具有高温稳定性、耐磨性和耐腐蚀性，可用于 PVD 涂层。这些材料常用于对耐久性要求较高的应用领域，如航空航天和汽车行业。
铝和铝化合物： 铝和氧化铝（Al2O3）具有优异的电气和热性能，可用于 PVD 涂层。铝因其导电性而常用于电子电路中，而氧化铝则因其绝缘性能和耐用性而常用于电子电路中。
不锈钢和铜： 不锈钢和铜因其美观性和耐腐蚀性而被用于 PVD 涂层。不锈钢通常用于装饰用途，而铜则因其高导电性而用于电子产品。
类金刚石碳（DLC）： DLC 涂层以其极高的硬度和低摩擦系数而著称，非常适合需要高耐磨性和低摩擦系数的应用，如汽车部件和切削工具。
其他材料： PVD 电镀中使用的其他材料包括 MCrAlYs（一类用于高温应用的超级合金材料）和各种铝化物，这些材料具有耐高温和耐腐蚀性能。
这些材料采用电子束蒸发和离子镀等技术，可精确控制沉积过程，确保涂层均匀一致。材料和沉积技术的选择取决于应用的具体要求，如耐磨性、耐腐蚀性、导电性和美观性。
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