XRF 涂层厚度测量的范围通常在 1 纳米到 50 微米之间。
低于 1 纳米时，特征 X 射线与噪声难以区分。
超过 50um 时，涂层厚度会达到饱和，无法进行精确测量。
这个范围对于确保内层发射的 X 射线能够穿透涂层到达检测器至关重要。
4 个要点说明
1.XRF 厚度范围
最小探测厚度:XRF 的最小检测厚度约为 1 纳米。
低于这一水平，特征 X 射线会被淹没在噪声信号中，从而无法识别。
最大检测厚度:可测量的最大厚度约为 50 微米。
超过这一厚度，涂层厚度会导致内层发射的 X 射线无法穿透涂层到达检测器，从而导致饱和和测量不准确。
2.准直器和光斑尺寸
准直器的作用:XRF 分析仪中的准直器将 X 射线引向样品并限制光斑大小。
它们确保 X 射线只与样品的预定区域发生作用，对保持测量精度至关重要。
准直器尺寸选择:可根据样品大小选择不同尺寸的准直器，以优化精度。
选择准直器时必须考虑光束发散，因为这会影响测量精度。
3.探测器类型
比例计数器:这些检测器使用电离惰性气体产生与吸收的能量成比例的信号。
它们非常可靠，广泛用于早期的涂层分析仪。
硅漂移探测器 (SDD):SDD 是基于半导体的检测器，可产生与样品中元素数量相关的电荷。
由于其分辨率高、效率高，因此常用。
4.仪器类型
台式与手持式 XRF:台式 XRF 分析仪适用于测量较厚的涂层和复杂的多层应用。
手持式设备更便于携带，是在役检查和大型工件的理想之选。
光圈技术:可根据工件尺寸和涂层厚度选择机械准直器和毛细管光学器件。
5.非破坏性分析
XRF 技术:XRF 是一种非破坏性方法，用于测量样品在主 X 射线源激发下发出的荧光 X 射线。
这种技术可以在不损坏样品的情况下测定涂层和基体的厚度。
通过了解这些要点，实验室设备采购人员可以根据自己的具体需求，就合适的 XRF 技术做出明智的决定，确保准确可靠地测量涂层厚度。
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