工业真空系统是一种复杂的装置，包括真空容器、各种类型的泵（机械泵、增压泵、扩散泵、涡轮分子泵、保温泵）、相关管道、歧管、阀门、真空测量设备和疏水阀。这些系统对工业生产中的包装、脱气、干燥和装瓶等过程至关重要。它们的功能是将空气、气体和其他分子从真空室中抽出，形成真空，这对许多工业和科学应用至关重要。
组件和功能：
工业真空系统的核心是真空容器，它与多种类型的泵相连。这些泵的工作压力范围很广，通常在 1.3 至 13.3 毫巴之间。系统包括用于制造初始真空的机械泵、用于提高真空度的增压泵、用于制造高真空的扩散泵以及用于制造超高真空的涡轮分子泵。每种泵在真空创建过程中都有特定的功能，可确保真空度的维持并根据需要提高真空度。应用：
工业真空系统用途广泛，可应用于各行各业。在制造业中，它们用于真空脱气过程、复合塑料成型以及电灯、真空管和显像管的生产。在半导体行业，它们对离子注入、干蚀刻等工艺以及 PVD、ALD、PECVD 和 CVD 等沉积技术至关重要。真空泵在电子显微镜、医疗抽吸过程、铀浓缩以及放射治疗和放射外科手术等医疗应用中也发挥着至关重要的作用。此外，真空泵还用于分析仪器和质谱仪，为精确分析创造必要的真空条件。
运行：
工业真空泵的基本工作原理是去除真空室中的空气和其他分子。随着压力的降低，去除更多分子的工作变得更具挑战性，因此有必要使用不同类型的系列泵来达到并维持所需的真空度。这种复杂性可确保真空系统在工业环境所需的巨大压力范围内有效运行。
