设计真空系统涉及几个关键因素,必须仔细考虑,以确保系统满足应用的特定需求。
应牢记的 7 个关键因素
1.气体体积和压力
系统内的气体体积和所需的压力水平是最基本的考虑因素。
系统必须能够有效地将气体抽空至所需的真空度。
例如,在真空炉中,机械真空泵可将真空度降至 1.3 x 10^-3 毫巴(0.001 托)。
根据抽气系统的大小和污染物的存在情况,通常可在 10-30 分钟内达到这一真空度。
2.抽空率
系统排空气体的速度是另一个关键因素。
较快的抽空速度可缩短循环时间,有利于提高生产率。
在真空炉中,有时会采用双抽气循环来加快整个循环时间,这说明了高效抽气的重要性。
3.炉子和工艺规格
真空炉的设计及其将用于的特定工艺也会影响系统设计。
真空炉可以是间歇式的,也可以是连续式的,可以是独立的,也可以集成到更大的系统中。
每种类型在真空度、加热和冷却周期以及气体回充方面都有不同的要求。
例如,在达到所需的真空度后,窑炉通常会充入氮气或氩气等惰性气体,以形成可控的加工气氛。
4.密封性
确保真空系统的密封性对于维持真空度和防止污染至关重要。
对于关键应用,泄漏率必须小于 5 微米/小时。
对于正常应用,泄漏率不应超过 10-20 微米/小时。
所有部件,包括接头、焊缝、密封件、阀门和泵,都必须定期进行泄漏检测和维护,以保持系统的完整性。
5.热区的有效工作区域和载重量
真空炉热区的有效工作区域和容重是重要的设计考虑因素。
这些参数决定了可处理材料的尺寸和类型,直接影响到真空炉的实用性和效率。
6.抽气速度和效率
真空泵系统的选择应兼顾抽气速度、效率和性能,以有效满足应用要求。
7.用于加工的可控气氛
在达到所需的真空度后,炉子通常会回充氮气或氩气等惰性气体,以形成可控的加工气氛。
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