溅射是一种物理过程，原子在高能粒子（通常是离子）的轰击下从固体靶材料中喷射出来。
这一过程广泛用于薄膜沉积和二次离子质谱等分析技术。
了解溅射过程的 5 个要点
1.历史背景
人们在 19 世纪首次观察到溅射，并在 20 世纪中期获得了极大的关注。
溅射 "一词源于拉丁语 "sputare"，意为发出声音，反映了原子从材料中被强力喷出的过程。
2.工艺机制
真空室设置
工艺开始时，先将待镀膜的基底置于充满惰性气体（通常为氩气）的真空室中。
对目标材料施加负电荷，这就是要沉积的原子的来源。
离子轰击
高能离子（通常是等离子状态下的氩离子）在电场的作用下加速冲向目标材料。
这些离子与靶材碰撞，传递能量和动量。
原子弹射
碰撞会导致目标材料的部分原子从表面喷出。
这类似于原子台球游戏，离子（母球）撞击原子团（台球），导致一些原子向外散射。
沉积
喷出的原子穿过气体，沉积到基底上，形成薄膜。
这一过程的效率由溅射产率来衡量，即每个入射离子溅射出的原子数。
3.应用
薄膜沉积
溅射被广泛应用于半导体工业和其他领域，以沉积薄膜材料，精确控制成分和厚度。
分析技术
在二次离子质谱分析中，利用溅射以可控速率侵蚀目标材料，从而分析材料成分和浓度随深度变化的曲线。
4.技术进步
20 世纪 70 年代，彼得-克拉克（Peter J. Clarke）研制出溅射枪，这是一个重要的里程碑，使材料能够在原子尺度上更可控、更高效地沉积。
这一进步对半导体行业的发展至关重要。
5.结论
溅射是沉积薄膜和分析材料成分的一种多用途精确方法，由离子轰击下目标材料中的原子物理喷射驱动。
其应用范围从工业涂料到先进的科学研究。
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