真空系统中泄漏的重要性可归纳如下：
1.操作员和产品安全：真空系统中的泄漏会导致有毒气体或液体逸出，对操作人员的安全构成威胁。它还可能使空气进入系统，从而导致爆炸性混合物的形成。确保真空系统的密封性对于维持安全的工作环境和保护加工产品的完整性至关重要。
2.压力/真空维护：真空系统中的泄漏会导致压力大幅上升或真空度下降。即使是轻微的漏气或漏水也会使真空泵不堪重负，影响所需的压力/真空条件。应适当关注整个真空系统，包括接头、焊缝、密封件、阀门、泵和容器本身，以检测和解决任何泄漏问题。
3.维护影响：在进行维护活动时，必须考虑对真空系统完整性的影响。要解决不可接受的泄漏率问题，通常需要将问题追溯到上次进行的维护。密封件、钎焊接头和其他部位的泄漏会对维持适当运行真空度的能力和最终产品的质量产生不利影响。此外，查找和纠正泄漏可能是一个耗时而细致的过程。
4.预防性维护：跟踪以前的泄漏情况并更换作为权宜之计使用的临时密封化合物对于良好的预防性维护计划至关重要。这有助于最大限度地减少未来的问题，并确保真空系统的长期有效性。
5.泄漏率测试：真空计读数不一定能准确显示真空炉内的实际情况。在相同压力下运行的两个相同炉子可能会由于泄漏密封性或泄漏率的不同而产生不同的热处理结果。按照窑炉制造商的规定定期进行泄漏率检查有助于防止因漏气而产生的问题，并确保获得一致和理想的热处理结果。
6.超高真空注意事项：在超高真空系统中，还需要考虑其他因素，例如奇特的泄漏路径和放气源。例如，某些材料的吸水性、金属的吸收性、油脂的沸腾、真空室壁的多孔性以及金属法兰的晶粒方向。要保持所需的真空度并防止出现性能问题，必须考虑到这些因素。
7.真空室的尺寸测量：真空室中半导体器件的性能直接受到真空度的影响。漏气会干扰沉积、蚀刻、溅射和其他过程所需的化学反应，导致加工失败。为防止漏气，必须采取谨慎措施，如确保端面和密封面的平整度、测试气密性和使用惰性气体进行吹扫。制造过程中对形状和尺寸的严格测量对实现无泄漏真空室起着至关重要的作用。
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