反应溅射是物理气相沉积（PVD）领域的一项专门技术。
它包括沉积具有可控化学计量和结构的薄膜。
与标准溅射不同，反应溅射将反应气体引入溅射室。
这样就能形成原始目标材料中不存在的化合物。
什么是反应溅射技术？5 个要点说明
1.工艺概述
在反应溅射中，目标材料通常是纯元素或金属。
靶材受到来自等离子体的离子轰击，等离子体通常由氩气等惰性气体产生。
这种轰击会将靶材中的原子喷射（溅射）到周围环境中。
与标准溅射的主要区别是在腔室中引入了氧气或氮气等活性气体。
这种活性气体与溅射出的靶原子发生化学反应，在基底上形成新的化合物，如氧化物或氮化物。
2.化学反应
溅射原子与反应气体之间的化学反应至关重要。
例如，如果目标原子为硅，反应气体为氧，则反应会在基底上形成氧化硅。
这一过程允许沉积靶材中天然不存在的材料，从而扩大了可通过溅射沉积的材料范围。
3.控制和挑战
控制沉积薄膜的成分至关重要。
这可以通过调整惰性气体和反应气体的分压来实现。
然而，由于涉及化学反应，这一过程比标准溅射更为复杂，可能导致类似滞后的行为。
这就需要对气体压力和流速等参数进行仔细监测和调整，以达到所需的薄膜特性。
伯格模型等模型有助于理解和预测这些变量对溅射过程的影响。
4.应用和优势
反应溅射特别适用于沉积具有特定功能特性的薄膜。
例如，它可用于控制氮化硅薄膜的应力或氧化硅薄膜的折射率。
由于能够精确控制沉积薄膜的化学计量，反应溅射成为各行各业的一项重要技术。
这些行业包括电子、光学和耐磨涂层。
5.设备和变化
用于反应溅射的设备可配置各种选项，以增强沉积过程。
选项包括基片预热站、溅射蚀刻功能和多阴极排列。
此外，还可采用不平衡磁控溅射等技术来提高沉积速率，改善沉积薄膜的质量。
总之，反应溅射是一种用途广泛、功能强大的技术。
它结合了传统溅射和化学反应的原理，可沉积具有特定性能的薄膜。
这拓宽了 PVD 在材料科学和工程学领域的应用。
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