热蒸发的温度通常在 250 至 350 摄氏度之间。这个温度范围用于加热热蒸发系统中的源材料，使其从固态变成气态。需要注意的是，热蒸发所需的温度与环境条件下的蒸发或升华温度不同。热蒸发过程是在真空条件下进行的，因此释放材料蒸气的温度较低。
不同材料对热蒸发的温度要求不同。例如，金在真空条件下的蒸发温度约为 950 摄氏度，尽管其标准条件下的沸点要高得多，达到 2700 摄氏度。各种材料所需的温度可在广泛使用的表格中找到。
同样值得考虑的是，热蒸发并不适合蒸发所有材料。某些材料，尤其是难熔金属，可能需要电子束蒸发。电子束蒸发涉及在压力低于 10-5 托的高真空室中加热源材料。为了尽量减少源原子与背景材料之间的碰撞，必须使用这种高真空。热蒸发通常在低于 1800 摄氏度的温度下运行，而电子束蒸发则可以处理更高的温度，例如在蒸发铂金时可以达到 2000 摄氏度。
总之，热蒸发是在真空室中加热材料，直到其表面原子具有足够的能量离开表面并形成蒸气的过程。热蒸发的温度范围通常在 250 至 350 摄氏度之间，但不同材料的具体温度要求也不尽相同。
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