蒸发器使用各种材料来促进蒸发过程。
这些材料可确保高效传热和均匀加热。
材料的选择取决于具体的应用。
这包括被蒸发物质的类型和最终产品所需的特性。
蒸发器中使用的主要材料包括三组份混合陶瓷、难熔金属和不锈钢。
每种材料都具有独特的优势，例如高导热性、耐腐蚀性和加热均匀性。
这些优点使它们适用于不同的蒸发技术和应用。
5 种关键材料说明
1.三组份混合陶瓷
成分和特性:包括氮化铝 (AlN) 在内的三组份混合陶瓷具有出色的导热性。
这使它们成为大型蒸发舟的理想选择，确保快速均匀加热。
应用:主要用于要求涂层高度均匀的电容器制造。
权衡:虽然提高了润湿性和均匀性，但与双组分产品相比，它们的寿命较短、蒸发率较低，耐腐蚀性较差。
2.耐火金属
类型和用途:钨和钼等耐火金属通常用于电阻舟或线圈蒸发源。
这些金属可承受高温而不会熔化或变质。
蒸发技术:电阻加热蒸发是指在耐火金属舟或线圈中通入大量电流，使材料升温、熔化并蒸发。
这种技术效率高，可精确控制蒸发率。
优点:耐火金属提供了稳定可靠的蒸发源，确保了稳定的结果和高质量的涂层。
3.不锈钢
耐腐蚀性:不锈钢具有出色的耐腐蚀性，因此被广泛用于蒸发器系统。
这可确保长期无故障运行，并防止产品流受到污染。
耐久性:不锈钢的耐用性使其适用于各种工业应用，在这些应用中，保持蒸发物质的纯度和完整性至关重要。
4.蒸发舟和篮式加热器
材料构成:蒸发舟通常由 BN、TiB2 和 AlN 粉末等材料制成。
三组份蒸发舟包含所有三种材料，而双组分蒸发舟则结合了 BN 和 TiB2。
功能性:篮式加热器可将蒸发材料直接装入篮中，无需坩埚，从而可根据涂层基底灵活选择源材料。
5.蒸发材料的常见形状
各种形状:蒸发材料的形状多种多样，包括块状、箔状、颗粒状、线状、棒状、丸状和蛞蝓状。
每种形状的设计都是为了优化特定应用的蒸发过程。
技术:不同的形状可用于各种热蒸发技术，如电阻加热蒸发、电子束蒸发、闪蒸和感应加热蒸发。
热蒸发技术
电阻加热蒸发:在电阻加热的坩埚中加热材料，蒸汽在基底上凝结。
电子束蒸发:使用电子束快速加热材料，使其蒸发。
闪蒸:使用高电流脉冲或强热源将材料快速加热到蒸发温度。
感应加热蒸发:在源材料中感应电流，导致加热和蒸发。
通过了解这些要点，实验室设备采购人员可以就最适合其特定蒸发需求的材料和技术做出明智的决定。
这样就能确保高效和高质量的结果。
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