真空室是各种科学和工业应用中的重要组件。真空室的设计目的是创造和维持真空环境,这对于需要没有空气或其他气体的实验和过程至关重要。用于建造这些真空室的材料是根据其承受压力急剧变化、抗腐蚀和维持高真空的能力来选择的。
您需要了解的 5 种关键材料
1.钢合金和不锈钢
钢合金和不锈钢是建造真空室最常用的材料。不锈钢因其耐久性和抗腐蚀性而备受青睐。这使其适用于维持高真空环境。它既可用于标准真空系统,也可用于超高真空系统。
2.铝合金
在超高真空系统中,铝合金是首选。这些材料重量更轻,具有出色的真空特性。它们还更容易清洁,不易放气,这对于保持高真空至关重要。
3.玻璃和塑料
玻璃和塑料通常用于较简单、要求不高的应用中,如教育演示。选择这些材料的原因是其透明度和易用性。
4.黄铜
黄铜用于需要特定热性能的应用场合。黄铜以其良好的导热性而闻名,常用于专门的真空系统中。
5.高密度陶瓷和丙烯酸树脂
高密度陶瓷和丙烯酸可用于需要透明度或特定热性能的应用中。这些材料具有独特的优点,因此适用于某些类型的真空室。
设计和构造注意事项
真空室的设计不仅要选择合适的材料,还要考虑形状和结构。真空室可以是圆柱形、球形或箱形。形状的选择取决于预期用途和可用空间。
在建造阶段,通常通过焊接、机械加工或锻造来连接材料。关键是要检查腔室是否有这些工序造成的应变或变形。缺陷可能导致泄漏和真空质量下降。
专业应用
对于需要高质量沉积过程的应用,例如磁控溅射系统,真空室的设计可以达到极高的真空度。这些真空室通常由不锈钢制成,并需要隔热和精确加工部件等附加功能。
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