PECVD（等离子体增强化学气相沉积）机是半导体行业用于在基底上沉积薄膜的工具。该机器利用低温等离子体产生辉光放电来预热样品，并引入适量的工艺气体。该过程涉及化学和等离子反应，在样品表面形成一层固体薄膜。PECVD 设备主要由真空和压力控制系统、沉淀系统、气体和流量控制、计算机控制和安全保护系统组成。该设备用于在大气保护环境中通过 CVD 法对粉末材料进行连续镀膜和改性。
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我们拥有广泛的产品组合，可确保提供满足您需求的适当标准解决方案。我们还提供定制设计服务，以满足客户的独特要求。我们的 PECVD 设备是现代半导体制造的重要工具，具有出色的薄膜均匀性、低温处理和高产能。我们的设备应用广泛，包括用于微电子器件、光伏电池和显示面板的薄膜沉积。
PECVD 设备的应用
- 微电子设备薄膜沉积
- 光伏电池生产
- 显示面板制造
- 二氧化硅薄膜沉积
- 氮化硅薄膜沉积
- 非晶硅薄膜沉积
- 在热预算较低的基底上沉积薄膜
- 功率半导体器件生产
- 光电子器件的生产
- 用于数据中心
- 5G 网络设备生产
- 自动驾驶汽车设备生产
- 可再生能源设备生产
- 电子战设备生产
- 智能照明制造
PECVD 设备的优势
- 沉积温度低
- 在不平整表面上具有良好的一致性和阶跃覆盖率
- 更严格地控制薄膜工艺
- 沉积速率高
- 适用于制造具有不同成分和微观结构的薄膜，可根据深度不断改变薄膜特性
- 沉积速率高，大大高于其他传统真空技术
- 可对不同形状的基底（包括三维基底）进行均匀镀膜
- 沉积的薄膜机械应力小
- 良好的共形台阶覆盖率，台阶边缘和平面上的薄膜厚度具有极佳的均匀性
- 沉积的薄膜具有良好的介电性能
- 高效的电气性能和极高标准的接合性能
我们的 PECVD 设备是满足您所有薄膜沉积需求的经济高效的解决方案。我们拥有丰富的产品线，可为您提供适合您需求的标准解决方案，而对于更独特的应用，我们的定制设计服务将帮助我们满足您的特定要求。
FAQ
什么是 PECVD 方法？
PECVD（等离子体增强化学气相沉积）是半导体制造中的一种工艺，用于在微电子设备、光伏电池和显示面板上沉积薄膜。在 PECVD 过程中，前驱体以气态进入反应室，在等离子反应介质的帮助下，前驱体在比 CVD 低得多的温度下解离。PECVD 系统具有出色的薄膜均匀性、低温处理和高产能。随着对先进电子设备需求的不断增长，PECVD 系统将在半导体行业发挥越来越重要的作用。
PECVD 有哪些用途？
PECVD（等离子体增强化学气相沉积法）广泛应用于半导体行业的集成电路制造，以及光伏、摩擦学、光学和生物医学领域。它用于沉积微电子器件、光伏电池和显示面板的薄膜。PECVD 可生产出普通 CVD 技术无法生产的独特化合物和薄膜，以及具有高耐溶剂性和耐腐蚀性、化学稳定性和热稳定性的薄膜。它还可用于生产大表面的均质有机和无机聚合物，以及用于摩擦学应用的类金刚石碳（DLC）。
PECVD 有哪些优势？
PECVD 的主要优点是能够在较低的沉积温度下运行，在不平整的表面上提供更好的一致性和阶跃覆盖率，更严格地控制薄膜工艺，以及较高的沉积速率。在传统的 CVD 温度可能会损坏涂覆设备或基底的情况下，PECVD 却能成功应用。通过在较低温度下工作，PECVD 在薄膜层之间产生的应力较小，可实现高效的电气性能和高标准的接合。
ALD 和 PECVD 的区别是什么？
ALD 是一种薄膜沉积工艺，可实现原子层厚度分辨率、高纵横比表面的出色均匀性和无针孔层。这是通过在自限制反应中连续形成原子层来实现的。另一方面，PECVD 将源材料与一种或多种挥发性前驱体混合，使用等离子体对源材料进行化学作用和分解。这种工艺使用热量和较高的压力，可产生重现性更高的薄膜，薄膜厚度可通过时间/功率来控制。这些薄膜的化学计量性更高，密度更大，能够生长出更高质量的绝缘体薄膜。
PECVD 和溅射有什么区别？
PECVD 和溅射都是用于薄膜沉积的物理气相沉积技术。PECVD 是一种扩散气体驱动工艺，可生成非常高质量的薄膜，而溅射则是一种视线沉积。PECVD 能更好地覆盖凹凸不平的表面，如沟槽、墙壁和高保形度表面，并能生产出独特的化合物和薄膜。另一方面，溅射有利于沉积多种材料的精细层，是制造多层和多级涂层系统的理想选择。PECVD 主要用于半导体工业、摩擦学、光学和生物医学领域，而溅射主要用于电介质材料和摩擦学应用。
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