溅射靶材是微电子、太阳能电池和光电子等各行各业的重要部件。
制造这些靶材需要一系列精确的工艺,以确保高性能和可靠性。
下面将详细介绍溅射靶材的制造过程,分为五个关键步骤。
生产高质量溅射靶材的 5 个关键步骤
1.材料选择和准备
制造过程始于选择合适的原材料。
这些材料通常是金属、合金或氧化物、氮化物和碳化物等化合物。
这些材料的纯度和质量至关重要,因为它们直接影响溅射靶材的性能。
2.混合和合金化
对原材料进行混合或合金化,以形成均匀的材料。
这一过程可确保溅射结果的一致性。
混合可通过机械方式进行,而合金化通常涉及在受控条件下将材料熔化在一起。
3.烧结和熔化
在混合或合金化之后,材料会经历烧结或熔化过程。
烧结是将材料加热到熔点以下,使颗粒粘合在一起。
熔化则使材料完全液化,以便进行铸造。
这些过程通常在真空或受控气氛中进行,以防止污染并确保高纯度。
4.成型和定型
然后将烧结或铸造材料成型为所需形状,通常是圆盘或薄片。
这可以通过热压、冷压、轧制或锻造等方法实现。
方法的选择取决于材料的特性和目标的规格。
5.打磨和抛光
基本形状形成后,目标要经过磨削和精加工工序。
这一步骤可确保靶件达到所需的尺寸和表面光洁度。
表面缺陷会影响沉积薄膜的均匀性和质量,因此这一步至关重要。
6.质量控制和分析
每批溅射靶材都要经过各种分析测试,以确保符合质量标准。
这些测试可能包括密度、纯度和微观结构的测量。
每次装运都会提供一份分析证书,详细说明靶材的特性和质量。
7.包装和装运
最后,对溅射靶材进行仔细包装,以防止在运输和储存过程中损坏。
然后将它们运送给客户,以备在溅射过程中使用。
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