溅射靶材是根据材料特性和预期应用采用各种工艺制造的。常见的方法包括真空热压、冷压和烧结以及真空熔炼和铸造。该工艺首先要选择和制备原材料，然后通过烧结或熔化进行混合或合金化，最后进行研磨以达到所需的质量。每个生产批次都要经过严格的分析测试，每次装运都会随附一份分析证书。
详细说明：
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材料选择和制备：
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生产过程的第一步是根据溅射靶材所需的性能选择合适的原材料。这些材料通常是金属、合金或氧化物、氮化物和碳化物等化合物。这些原材料的纯度和质量至关重要，因为它们直接影响溅射靶材的性能。混合与合金：
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根据要求，可对原材料进行混合或合金化。这一过程对于制造均匀的材料以确保一致的溅射结果至关重要。混合可通过机械方式进行，而合金化通常涉及在受控条件下将材料熔化在一起。
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烧结和熔化：
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混合或合金化后，材料要经过烧结或熔化过程。烧结是将材料加热到熔点以下，使颗粒粘合在一起，而熔化则是将材料完全液化，以便浇铸。这些过程通常在真空或受控气氛中进行，以防止污染并确保高纯度。成型和整形：
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然后将烧结或铸造材料成型为所需形状，通常是圆盘或薄片。这可以通过热压、冷压、轧制或锻造等各种方法实现。方法的选择取决于材料的特性和目标的规格。
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研磨和精加工：
基本形状形成后，目标要经过磨削和精加工，以达到所需的尺寸和表面光洁度。这一步对于确保靶材在溅射过程中表现良好至关重要，因为表面缺陷会影响沉积薄膜的均匀性和质量。
质量控制和分析：
