真空压力使用专门的真空计进行测量，真空计可在从低真空到超高真空的各种真空范围内工作。真空压力的测量对于确保真空系统的正常运行和维持真空室内的理想条件至关重要。
测量技术：
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压力表： 根据所测量的真空范围，使用不同类型的压力表。例如，在粗真空/低真空范围（1000 至 1 毫巴）内，可能会使用布顿管或隔膜真空计等机械真空计。这些真空计的工作原理是根据压力变化产生机械变形。
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热导率真空计： 这些真空计适用于中/低真空范围（1 至 10^-3 毫巴），测量气体热导率因压力变化而发生的变化。皮拉尼真空计是一种常见的真空计，加热丝的电阻会随着气体压力的变化而变化，从而影响加热丝的热损失。
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电离计： 用于高真空和超高真空范围（10^-3 至 10^-11 毫巴）。其工作原理是电离气体分子并测量产生的电流，电流与气体密度成正比，因此也与压力成正比。巴氏-阿尔伯特真空计和热阴极电离真空计就是这样的例子。
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磁悬浮真空计： 对于极高真空（< 10^-11 毫巴），磁悬浮规测量的是磁场中悬浮小球所需的力，该力受周围气体压力的影响。
精度和可靠性：
真空计的选择取决于所需的真空度和具体应用。例如，在参考文献中提到的真空沉积系统中，使用的是能够显示大气压至 10^-9 托压力的全量程压力表。这可确保准确监控沉积环境，而这对薄膜沉积的质量至关重要。
与真空系统集成：
真空计通常与阀门和其他组件一起集成到真空系统中。真空计可提供真空室内部压力的实时反馈，操作员可根据需要调整真空泵设置或其他参数，以达到并保持所需的真空度。
结论
真空压力测量是管理各行业真空系统和研究应用的一个重要方面。选择合适的真空计可确保准确保持真空度，这对真空炉、粒子加速器和薄膜沉积系统等过程的成功至关重要。
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