金溅射涂层是扫描电子显微镜（SEM）中的一项关键工艺。它有助于防止充电和提高图像质量。这种涂层的厚度通常在 2 到 20 纳米之间。这种超薄层适用于非导电或导电性差的试样。它通过增加二次电子的发射来提高信噪比。
5 个要点说明
1.目的和应用
在 SEM 中，溅射金涂层主要用于在非导电或导电性差的样品上镀金。这种涂层非常重要，因为它可以防止静态电场在试样上积累。否则会干扰成像过程。此外，金属涂层还能增加试样表面的二次电子发射。这就提高了 SEM 所捕捉图像的可见度和清晰度。
2.厚度范围
用于扫描电镜的溅射金膜的典型厚度在 2 纳米到 20 纳米之间。选择这个范围是为了确保涂层足够薄，不会遮住试样的细节。同时，厚度也足以提供足够的导电性和二次电子发射。
3.具体示例和技术
在一个例子中，使用 SC7640 溅射镀膜机在一个 6 英寸的晶片上镀上 3 纳米的金/钯（Au/Pd）。所使用的设置为 800V、12mA、氩气和 0.004 巴真空。结果发现，整个晶片上的镀层非常均匀。另一个例子涉及在碳涂层 Formvar 薄膜上沉积 2 纳米铂膜，同样使用 SC7640 溅射镀膜机。设置为 800V 和 10mA，氩气和 0.004 巴真空。
4.技术细节和公式
金/钯镀层的厚度可用公式计算：[Th = 7.5 I t ]。这里，( Th ) 是厚度（埃），( I ) 是电流（毫安），( t ) 是时间（分钟）。该公式适用于电压为 2.5KV、目标到试样的距离为 50 毫米的情况。
5.限制和适用性
由于金的二次电子产率高，因此并不适合高倍率成像。这会导致快速溅射，并在涂层中形成大的孤岛或晶粒。这些结构在高倍放大镜下清晰可见，可能会掩盖样本表面的细节。因此，金溅射更适合在较低的放大倍率下成像，通常在 5000 倍以下。
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