电子束或电子束技术主要用于半导体制造和微电子等行业的金属沉积、材料性能改性、消毒和各种特殊应用。该技术利用聚焦电子束加热材料,使其蒸发并沉积到基底上,改变材料特性或对产品进行消毒。
金属沉积:
电子束金属沉积是利用电子束在真空中加热材料的小颗粒,使其汽化。汽化后的材料沉积在基底上,形成一层薄而高密度的涂层。这种工艺的优点是能以快速沉积速度形成高纯度、紧密附着的薄膜。电子束蒸发尤其适用于沉积各种材料,包括高温金属和金属氧化物,而且无需排气即可进行多层沉积。材料性能改性:
电子束加工可通过诱导聚合物交联、链裂解和其他变化,有效改变材料特性。这项技术已应用于各种材料,提高了它们在热缩塑料、热固性复合材料固化和半导体增强等应用中的性能。对电子束的精确控制可实现有针对性的改性,从而带来经济和环境效益。
灭菌:
电子束灭菌是一种广为接受的医疗设备和产品去污方法。它具有高剂量率和无菌保证水平,可立即释放灭菌物品。该技术可穿透各种材料(包括金属箔),并可在辐照过程中进行温度控制,从而确保材料特性和产品完整性。
专业应用: