离子溅射是固体表面受到电离和加速的原子或分子轰击时，原子从固体表面喷射出来的过程。
这种现象通常用于各种应用，如在固体表面形成薄膜、试样涂层和离子蚀刻。
什么是离子溅射？需要了解的 7 个要点
1.离子溅射的过程
该过程包括将电离原子或分子束聚焦到目标材料（也称为阴极）上。
目标材料被置于充满惰性气体原子的真空室中。
目标材料带负电，将其转化为阴极，并使自由电子从阴极流出。
这些自由电子与气体原子周围的电子碰撞，将其驱离并转化为带正电的高能离子。
2.带正电荷离子的作用
带正电荷的离子会被吸引到阴极。
当它们与目标材料高速碰撞时，会从阴极表面分离出原子大小的粒子。
然后，这些溅射粒子穿过真空室，落在基底上，形成一层射出靶离子的薄膜。
3.离子溅射的优点
离子溅射的优点之一是，由于离子具有相同的方向性和能量，因此可形成高密度和高质量的薄膜。
这种工艺常用于生产各种用途的高质量薄膜。
4.作为物理过程的溅射
溅射是一种物理过程，包括用高能离子（通常是惰性气体离子）轰击固态目标材料，将原子从该材料射入气相。
它通常用作高真空环境下的沉积技术，即溅射沉积。
此外，溅射还可用作制备高纯度表面的清洁方法，以及分析表面化学成分的分析技术。
5.等离子体在溅射中的作用
溅射过程包括利用等离子体（一种部分电离的气体）的能量轰击目标材料或阴极的表面。
等离子体中的离子在电场的作用下加速冲向靶材，从而在离子和靶材之间产生一系列动量传递过程。
这些过程导致原子从靶材料喷射到镀膜室的气相中。
6.溅射机理
在低压腔中，喷射出的靶粒子可以通过视线飞行，也可以被电离并在电场力的作用下加速飞向基底。
一旦到达基底，它们就会被吸附并成为生长薄膜的一部分。
溅射在很大程度上是由目标材料中的离子和原子因碰撞而产生的动量交换驱动的。
当离子与目标材料中的原子团碰撞时，原子之间的后续碰撞会导致一些表面原子被弹出原子团。
溅射产率，即每个入射离子从表面射出的原子数，是衡量溅射过程效率的一个重要指标。
7.溅射过程的类型
溅射工艺有离子束、二极管和磁控溅射等不同类型。
在磁控溅射中，在低压气体（通常是氩气）上施加高压，以产生高能等离子体。
等离子体由电子和气体离子组成。
等离子体中的高能离子撞击由所需涂层材料组成的靶材，导致原子从靶材中喷出，并与基材中的原子结合。
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