知识 什么是溅射产量?您需要了解的 4 个关键因素
作者头像

技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是溅射产量?您需要了解的 4 个关键因素

溅射产率也称为物理溅射率,是衡量每一个入射高能粒子撞击表面所损失的原子数量。

它是溅射沉积过程中的一个重要因素,因为它会影响溅射沉积率。

溅射产率主要取决于三个主要因素:目标材料、轰击粒子的质量和轰击粒子的能量。

在发生溅射的能量范围(10 到 5000 eV)内,溅射产率随粒子质量和能量的增加而增加。

溅射产率受多种因素的影响,包括离子撞击表面的角度、碰撞过程中的离子能量、离子重量、目标材料原子的重量、目标材料原子间的结合能、磁场强度和设计因素(在磁控管阴极中)以及等离子体气体压力。

为了从靶材料中射出原子,离子必须具有最低能量,通常为 30-50 eV,这与材料有关。

超过这个临界值,溅射产率就会增加。

然而,在离子能量较高时,产量的增加会迅速趋于平稳,因为能量会沉积到靶材的更深处,几乎不会到达表面。

离子和靶原子的质量比决定了可能的动量传递。

对于轻质靶原子,当靶原子和离子的质量大致相等时,可获得最大产率。

然而,随着靶原子质量的增加,最大产率会向离子和靶原子质量比更高的方向移动。

在溅射沉积过程中,溅射产率具有高沉积率和可沉积多种材料等优点。

不过,它也有缺点,包括资本支出高、某些材料的沉积率相对较低、离子轰击会导致有机固体降解,以及与蒸发沉积相比更容易在基底中引入杂质。

总之,溅射良率是溅射沉积工艺中需要考虑的一个重要参数,因为它决定了沉积工艺的效率和效果。

使用 KINTEK 提升您的溅射沉积工艺!

什么是溅射产量?您需要了解的 4 个关键因素

利用 KINTEK 的尖端实验室设备最大限度地提高您的溅射良率和溅射沉积率。

我们的先进技术考虑了各种关键因素,如靶材、轰击粒子的质量和能量、入射角、原子间结合能、磁场强度和等离子气体压力。

在 KINTEK 的帮助下,您可以期待溅射原子的能级超过数十电子伏特,从而确保溅射沉积工艺获得最佳效果。

此外,我们的设备可最大限度地减少重复溅射,从而实现更高效、更具成本效益的操作。

不要满足于一般的溅射产量。今天就联系 KINTEK,彻底改变您的溅射沉积工艺,获得无与伦比的成功!

继续探索,咨询我们的专家

准备好提高溅射良率了吗? 立即联系 KINTEK,了解有关我们先进实验室设备的更多信息,以及我们如何帮助您实现最佳溅射沉积效果。

不要错过革新您的工艺的机会! 请访问我们的网站或立即致电我们。

相关产品

火花等离子烧结炉 SPS 炉

火花等离子烧结炉 SPS 炉

了解火花等离子烧结炉在快速、低温材料制备方面的优势。加热均匀、成本低且环保。

钨钛合金(WTi)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

钨钛合金(WTi)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

了解我们的钨钛合金 (WTi) 实验室材料,价格实惠。我们的专业知识使我们能够生产不同纯度、形状和尺寸的定制材料。您可以从各种溅射靶材、粉末等产品中进行选择。

碳化硼 (BC) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

碳化硼 (BC) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室需求提供高质量的碳化硼材料。我们可定制不同纯度、形状和尺寸的碳化硼材料,包括溅射靶材、涂层、粉末等。

铜锆合金 (CuZr) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

铜锆合金 (CuZr) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

了解我们根据您的独特需求量身定制的价格合理的铜锆合金材料系列。浏览我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品。

硫化锌 (ZnS) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

硫化锌 (ZnS) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

为您的实验室需求提供经济实惠的硫化锌 (ZnS) 材料。我们生产和定制不同纯度、形状和尺寸的 ZnS 材料。有多种溅射靶材、涂层材料、粉末等可供选择。

高纯铝(Al)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯铝(Al)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以实惠的价格获取实验室用高品质铝 (Al) 材料。我们提供定制解决方案,包括溅射靶材、粉末、铝箔、铝锭等,以满足您的独特需求。立即订购!

高纯硼(B)溅射靶材/粉/丝/块/粒

高纯硼(B)溅射靶材/粉/丝/块/粒

根据您的特定实验室需求量身定制经济实惠的硼(B)材料。我们的产品包括溅射靶材、3D 打印粉末、圆柱、颗粒等。立即联系我们。

高纯度铁(Fe)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度铁(Fe)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在寻找经济实惠的实验室用铁 (Fe) 材料吗?我们的产品系列包括各种规格和尺寸的溅射靶材、涂层材料、粉末等,可满足您的特定需求。请立即联系我们!

高纯度铱(Ir)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯度铱(Ir)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

正在寻找用于实验室的高品质铱 (Ir) 材料?别再犹豫了!我们专业生产和定制的材料有各种纯度、形状和尺寸,可满足您的独特需求。请查看我们的溅射靶材、涂层、粉末等产品系列。立即获取报价!

高纯钴(Co)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯钴(Co)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

根据您的独特需求,为您提供经济实惠的实验室用钴(Co)材料。我们的产品范围包括溅射靶材、粉末、箔等。如需定制解决方案,请立即联系我们!

高纯锑(Sb)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯锑(Sb)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

根据您的特定需求量身定制高质量的锑(Sb)材料。我们以合理的价格提供各种形状和尺寸的产品。浏览我们的溅射靶材、粉末、箔等产品。

高纯锗(Ge)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯锗(Ge)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格为您的实验室需求提供高品质的金材料。我们定制的金材料有各种形状、尺寸和纯度,可满足您的独特要求。了解我们的溅射靶材、涂层材料、箔、粉末等产品系列。

铁镓合金 (FeGa) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

铁镓合金 (FeGa) 溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

以合理的价格找到高品质的实验室用铁镓合金 (FeGa) 材料。我们可根据您的独特需求定制材料。查看我们的规格和尺寸范围!

高纯碳(C)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

高纯碳(C)溅射靶材/粉末/金属丝/块/颗粒

您正在为您的实验室需求寻找经济实惠的碳 (C) 材料吗?别再犹豫了!我们专业生产和定制的材料有各种形状、尺寸和纯度。您可以选择溅射靶材、涂层材料、粉末等。


留下您的留言