热蒸发是一种用于沉积薄膜的方法，但它有几个缺点，会影响工艺的质量和效率。
热蒸发有哪 6 个缺点？
1.敏感材料的质量下降
热蒸发会使敏感材料降解。这包括有机物质、维生素、调味剂和药物中间体。这些材料会在相对较低的温度下分解或发生反应，从而对最终产品产生负面影响。
2.薄膜中的杂质
热蒸发，尤其是电阻热蒸发，会导致薄膜中杂质含量较高。这是因为盛放材料的坩埚会被加热，从而污染薄膜。
3.密度较低的薄膜涂层
与电子束蒸发相比，热蒸发通常产生的薄膜涂层密度较低。这是由于蒸发粒子的能量较低，导致沉积薄膜的堆积和结合效率较低。
4.仅限于低熔点材料
热蒸发最适合熔点较低的材料。对于氧化物等温度较高的材料，热蒸发就显得力不从心，而电子束蒸发则能更好地处理这些材料。
5.沉积率较低
与电子束蒸发相比，热蒸发的沉积率通常较低。这可能会减慢工艺流程，尤其是在需要大批量生产的工业应用中。
6.热应力
该工艺会对被蒸发的材料产生巨大的热应力。这会导致结构变化或损坏，尤其是对敏感材料。虽然可以通过调整压力和使用特殊设计来减少这种应力，但这些解决方案会增加复杂性和成本。
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