热蒸发中使用的材料包括各种源和形状，主要用于促进材料在高真空环境中的加热和蒸发。热源通常由钨、钽或钼等材料制成，形式包括舟形、篮形、丝状和涂层棒状。这些源的设计可承受高温并有效加热蒸发材料，其形状包括块状、箔状、颗粒状、线状、棒状、枪状和弹头状。
热蒸发源：
- 船： 这些都是常用的，有各种尺寸。在相同的沉积速率下，较大的舟通常需要较高的功率，但可以处理较高的最大沉积速率。
- 篮子和丝网： 也使用这些设备，通常用于支撑坩埚或直接加热蒸发材料。
- 涂层棒： 这些材料可能带有被动材料涂层，如氧化铝，以提高其性能或耐用性。
使用的材料类型：
- 金属： 常用金属包括金、银、钛和铜。选择这些材料是因为它们具有导电性、延展性和耐腐蚀性。
- 半导体： 二氧化硅等材料用于需要特定电气性能的应用。
- 难熔金属： 钨和钼的熔点高，在高温下经久耐用，因此被广泛使用。
加热技术：
- 电阻加热蒸发： 材料在电阻加热的坩埚中加热，蒸汽在基底上凝结。
- 电子束蒸发： 电子束聚焦在材料上，导致快速加热和蒸发。
- 闪蒸： 使用大电流脉冲或强热源将材料快速加热至蒸发温度。
- 感应加热蒸发： 感应加热会在源材料中产生电流，从而导致加热和蒸发。
工艺概述：
热蒸发是指在高真空室中加热固体材料，直至其沸腾和蒸发，产生蒸汽压。蒸汽形成云雾，穿过真空室，以薄膜的形式沉积在基底上。真空环境确保了蒸汽流的流动不会与其他原子发生反应或散射。
这篇详细的解释涵盖了热蒸发中使用的材料和方法，提供了对该过程及其在各行业应用的全面了解。
