知识 什么是热蒸发技术?需要了解的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 4周前

什么是热蒸发技术?需要了解的 5 个要点

热蒸发是一种用于在表面上形成薄膜的方法。

它的工作原理是加热材料,直到其变成蒸汽。

然后,这种蒸汽会在附近的表面形成一层薄膜。

该过程在非常低的压力环境下进行,通常小于 10^-5 托。

这种方法以其简单、低能耗和温和的特性而闻名。

关于热蒸发的 5 个要点

什么是热蒸发技术?需要了解的 5 个要点

1.加热材料

该过程首先要加热固体材料。

通常使用电阻船进行加热。

材料被加热到高温,开始沸腾或升华。

需要高温来克服材料的蒸汽压,启动蒸发过程。

2.真空蒸发

蒸发是在高真空室中进行的。

真空环境至关重要。

它可以防止蒸气与其他原子发生反应或散射。

这样,蒸气就可以直接到达基底。

3.在基底上沉积

蒸发的材料形成蒸汽流。

气流穿过腔室,沉积到基底上。

然后蒸汽冷凝形成薄膜。

由于环境受控且蒸汽路径直接,薄膜可以均匀且牢固地附着在基底上。

4.可重复性和生长

该过程可重复多次。

每个循环都有助于薄膜的成核和生长。

这可提高薄膜的质量和均匀性。

5.应用和材料

热蒸发可用于实验室和工业环境。

它可用于沉积各种材料。

其中包括铝、银、镍和铬等金属。

热蒸发的多功能性和沉积各种材料的能力使其成为薄膜应用的热门选择。

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