真空校准是指验证用于测量真空压力的仪器是否能提供精确测量的过程。其方法是将仪器产生的测量值与标准值或允许公差值进行比较。定期校准对于确保真空压力测量的可重复精度非常重要。
为了确定真空工作所需的精度，有必要考虑具体应用及其真空控制要求。对于真空干燥箱或过滤等某些应用，真空控制可能并非绝对必要。但对于其他应用，真空控制则是必需的。
真空校准涉及各种组件和系统。其中包括调节和控制面板（可能包括安全 PLC 和软件）、满足真空炉和真空泵冷却需求的冷却水系统、具有精密压力控制的气体供应系统以及使用露点测量法测量气体纯度。
就测量精度而言，每个部件组装前的形状和尺寸以及组装好的真空室的形状和尺寸都非常重要。这些测量通常需要精确到微米数量级的三维控制。在这种情况下，卷尺和卡尺等手动工具可能无法满足要求，因此通常使用桥式坐标测量机 (CMM)。然而，将大型真空室搬到测量室并安装到坐标测量机上是一项挑战。现场测量可能也是必要的，需要高水平的测量技能和多人操作大型真空室。
在高真空 (HV)、超高真空 (UHV) 和极高真空 (XHV) 条件下工作，需要仔细考虑系统设计和所用材料。必须精确测量真空室中开口和接头的端面和密封面的平面度。平面度误差会导致泄漏等问题，并影响真空室的运行精度。必须进行仔细检查，在制造过程中测量加工精度，并将测量结果与 CAD 设计数据进行比较。
总之，真空校准包括确保准确的真空压力测量、考虑应用的特定真空控制要求以及仔细测量真空室及其组件的形状和尺寸。
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