类金刚石碳(DLC)是一种无定形碳材料,其特点是含有大量 sp3 碳键,因而具有类似金刚石的特性。DLC 通常采用射频等离子体辅助化学气相沉积(RF PECVD)等方法沉积成薄膜。这种工艺可以制造出具有不同光学和电学特性的 DLC 薄膜,使其在不同的应用领域都能发挥作用。
DLC 薄膜以高硬度和耐化学性著称,因此适合用作各种材料的保护涂层。它们对许多基材都有良好的附着力,而且可以在相对较低的温度下沉积。由于这些特性,DLC 涂层被广泛应用,包括在汽车部件中用作摩擦涂层,以增强耐磨性和减少摩擦,以及在涉及铝和塑料等材料的加工操作中用作工具涂层。
DLC 具有表面光滑度高、硬度高、化学惰性好和摩擦系数低等独特的综合性能,因此也非常适合应用于光学元件、磁记忆盘、金属加工工具和生物医学假体。DLC 涂层的维氏硬度高达 9000 HV,仅次于 10000 HV 的金刚石。这种高硬度在制表业等应用中尤为有利,因为 DLC 可用于增强手表的功能特性,同时保持豪华的外观。
需要说明的是,DLC 并不是一种涂层方法,而是一种材料。它有时与物理气相沉积(PVD)相混淆,但两者是不同的;PVD 是一种用于沉积包括 DLC 在内的各种涂层的方法。
总之,DLC 是一种用途广泛、坚固耐用的材料,主要用作保护涂层,因为它具有类似金刚石的特性,包括高硬度、耐磨性和低摩擦性。其应用范围从汽车和工具行业到制表和生物医学设备中的高精度和装饰性用途。
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