其核心区别在于名称本身。物理气相沉积 (PVD) 是一个物理过程，其中固体材料被汽化，然后沉积到基材上，这很像微观层面的喷漆。相比之下，化学气相沉积 (CVD) 是一个化学过程，其中气体在腔室内部发生反应，形成一层“生长”在基材表面的固体薄膜。
在 PVD 和 CVD 之间做出选择是一种基本的工程权衡。它要求我们在 PVD 针对敏感材料的低温精度与 CVD 针对复杂几何形状的高温、全面覆盖之间做出决定。
根本区别：物理过程与化学过程
最关键的区别在于涂层材料如何到达并形成在零件表面。这个单一的区别决定了这两种方法的几乎所有其他特性和限制。
PVD 的工作原理：视线沉积
在 PVD 中，固体靶材在真空室中受到能量（如大电流电弧）的轰击。这会将材料汽化成等离子体。
这种汽化后的材料然后以直线传播并凝结在基材上，形成一层薄而坚硬的薄膜。因为它是一个视线过程，任何未直接暴露于源的区域都不会被涂覆。
CVD 的工作原理：化学反应和生长
CVD 涉及将一种或多种前驱气体引入高温反应腔室。
这些气体分解并与彼此以及基材发生反应，形成一层固体涂层，沉积在所有暴露的表面上。这是一个多向过程，因为气体环绕着零件，使得薄膜即使在复杂区域也能均匀生长。
关键工艺参数比较
每种工艺的机制导致了截然不同的操作条件，这反过来又影响了最终产品以及您可以加工的材料。
加工温度
CVD 是一个高温过程，通常在 800°C 至 1000°C 之间运行。这种热量对于驱动化学反应是必需的。
相比之下，PVD 是一个低温过程，运行温度约为 500°C 甚至更低。这使其适用于涂覆无法承受 CVD 极端高温的材料。
涂层厚度
CVD 通常用于制造较厚的涂层，厚度通常在 10 到 20 微米 (μm) 范围内。
PVD 产生较薄的薄膜，通常在 3 到 5 微米 (μm) 之间。所得薄膜非常致密且超硬。
理解涂层质量的权衡
没有哪种方法本质上更优越；它们只是根据最终应用的具体要求提供不同的优点和缺点。
覆盖范围和保形性
CVD 在具有复杂几何形状的零件（包括深孔和内壁）上提供优异、均匀的覆盖。气相过程确保薄膜在任何地方生长。
PVD 的视线特性使得难以均匀涂覆复杂形状。零件通常需要在复杂的夹具上旋转以确保充分覆盖，这增加了成本和复杂性。
内部应力和缺陷
CVD 的高温可能导致零件冷却时涂层中产生拉伸应力。这种应力有时会导致形成细微裂纹。
PVD 的低温过程产生压应力，这对耐用性和性能通常是有益的。PVD 涂层通常比 CVD 涂层更致密，空隙更少。
成本和安全
CVD 通常对于批次处理更具成本效益，并且在涂覆内部表面方面非常可靠。
PVD 可能更昂贵，因为它需要复杂的真空设备以及复杂的装载和固定过程。然而，PVD 避免了 CVD 中常用的有毒前驱气体，使其成为一种更安全的操作过程。
为您的应用做出正确的选择
选择正确的工艺需要清楚地了解项目的不可协商要求，从基材材料到最终零件的工作环境。
- 如果您的主要重点是涂覆热敏材料或实现薄而高密度的薄膜： PVD 是更优的选择，因为它具有显著更低的加工温度。
- 如果您的主要重点是在具有内部特征的复杂形状上实现厚实、耐磨且均匀的涂层： CVD 是明确的选择，因为它的化学过程可以均匀地涂覆所有暴露的表面。
- 如果您的主要重点是具有成本效益地处理能够承受高温的耐用零件： CVD 通常提供更经济的解决方案，并具有出色的涂层性能。
了解这些核心原则，使您能够根据工程挑战的具体要求来选择正确的沉积技术，而不是基于偏好。
摘要表：
| 特征 | PVD（物理气相沉积） | CVD（化学气相沉积） |
|---|---|---|
| 工艺类型 | 物理（汽化） | 化学（气体反应） |
| 温度 | 低（≤500°C） | 高（800-1000°C） |
| 涂层厚度 | 薄（3-5 μm） | 厚（10-20 μm） |
| 覆盖范围 | 视线（需要旋转） | 均匀（覆盖复杂几何形状） |
| 内部应力 | 压应力 | 拉伸应力 |
| 最适合 | 热敏材料、薄而致密的薄膜 | 复杂形状、内部表面、批次处理 |
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