直流磁控溅射是一种常用的薄膜沉积方法，但它也有一些缺点。
直流磁控溅射的 6 个缺点是什么？
1.薄膜/基底附着力低
直流磁控溅射会导致沉积薄膜与基底之间的附着力低。
这会导致涂层质量差，容易从基材上剥离或分层。
2.金属电离率低
在直流磁控溅射中，溅射金属原子的电离效率不高。
这会限制沉积速率，导致涂层质量较差，密度和附着力降低。
3.沉积速率低
与其他溅射方法相比，直流磁控溅射的沉积率较低。
当需要高速涂层工艺时，这可能是一个不利因素。
4.靶材腐蚀不均匀
在直流磁控溅射中，由于需要良好的沉积均匀性，靶材会受到不均匀的侵蚀。
这会导致靶材寿命缩短，需要更频繁地更换靶材。
5.溅射低导电和绝缘材料的局限性
直流磁控溅射不适合溅射低导电或绝缘材料。
电流无法通过这些材料，导致电荷积累和溅射效率低下。
射频磁控溅射通常用作溅射这类材料的替代方法。
6.电弧和损坏电源
电介质材料的直流溅射会导致腔壁被非导电材料覆盖。
这可能导致在沉积过程中出现微小和宏观电弧。
这些电弧会损坏电源，并导致目标材料原子去除不均匀。
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