知识 什么是物理气相沉积?解释 4 个关键步骤
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3周前

什么是物理气相沉积?解释 4 个关键步骤

物理气相沉积(PVD)是一种将材料薄膜应用到各种基底上的技术。热蒸发就是 PVD 的一个常见例子。

PVD 热蒸发的 4 个关键步骤

什么是物理气相沉积?解释 4 个关键步骤

1.加热材料

在热蒸发过程中,需要沉积的材料(如铝或银)被放置在高真空室中加热。真空环境至关重要,因为它能降低压力,使材料在比正常大气压力下更低的温度下汽化。

2.蒸汽的形成

随着材料的升温,它达到气化点并变成蒸汽。由于环境压力较低,这些蒸汽会在腔体内形成云雾。腔体内的蒸汽压力足以形成可见的蒸汽流。

3.在基底上沉积

气化后的材料穿过腔室,沉积到基底表面。基底可以由石英、玻璃或硅等材料制成,基底的位置应使其表面朝向蒸汽源。蒸汽与冷却基底接触后凝结,形成薄膜。

4.控制和精度

该工艺受到高度控制,可在基底的特定区域精确应用材料。薄膜厚度可从埃到微米不等,具体取决于应用和涂层的具体要求。

这个例子说明了 PVD 的基本原理,即利用物理机制(加热)将固体材料转化为蒸汽,然后沉积到基底上形成薄膜。由于这种技术能够制造出耐用、精密的涂层,因此被广泛应用于电子、光学和医疗设备等各个行业。

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