知识 什么是使用溅射方法沉积薄膜?5 个关键步骤解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 4周前

什么是使用溅射方法沉积薄膜?5 个关键步骤解析

溅射是一种物理气相沉积(PVD)方法,用于在基底上沉积薄膜。

这种技术是利用气态等离子体将原子从固体目标材料中分离出来。

然后将这些原子沉积到基底表面,形成一层薄膜。

5 个关键步骤说明

什么是使用溅射方法沉积薄膜?5 个关键步骤解析

1.引入气体

将受控气体(通常为氩气)引入真空室。

2.建立等离子体

向阴极施加电流,形成自持等离子体。

3.原子喷射

等离子体中的离子与目标(阴极)碰撞,导致原子喷射。

4.薄膜沉积

喷射出的原子沉积在基底上,形成薄膜。

5.优势和应用

溅射的优势在于它可以从多种材料(包括高熔点材料)中沉积薄膜。

它被广泛应用于半导体、光盘、磁盘驱动器和光学设备等领域。

该工艺可通过控制生产精确的成分,包括通过反应溅射生产合金和化合物。

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