物理气相传输（PVT）又称物理气相沉积（PVD），是一种真空沉积方法，用于在金属、陶瓷、玻璃和聚合物等基材上生产薄膜和涂层。
该工艺涉及材料从凝结相到气相的转变，然后再以薄膜的形式回到凝结相。
这种方法对于需要薄膜来实现光学、机械、电气、声学或化学功能的应用至关重要，包括半导体设备、微机电设备和涂层切削工具。
5 个要点说明
1.从固态到气态的转变
要沉积的材料在真空室中开始时呈固态。
然后使用激光脉冲、电弧或离子/电子轰击等各种方法将其气化。
这种气化发生在原子或分子水平，确保了精细可控的沉积。
2.传输和沉积
气化后的材料通过真空室传输，在真空室中与存在的气体环境发生反应。
这一传输阶段至关重要，因为它决定了沉积的均匀性和质量。
然后，蒸气在基底上凝结成固体，形成薄膜。
3.控制和精度
PVT/PVD 工艺是高度可控的，可以调整腔室内的气体和蒸汽成分、颗粒密度和压力。
这种控制可确保只沉积所需的材料，最大限度地减少污染和过冲（在非预期表面沉积）。
4.4. 各个领域的优势
PVT/PVD 的精确性和控制性使其适合应用于医疗领域，因为医疗设备需要在人体附近或内部安全使用的精确涂层。
此外，它还可用于需要耐用性和特定功能特性的制造领域，如切削工具和电子设备。
5.PVD 工艺类型
常见的 PVD 工艺包括溅射和蒸发。
热蒸发是一种特殊的方法，它是在高真空室中加热固体材料，产生蒸汽沉积在基底上。
这种方法对于制造厚度精确的薄膜尤为有效。
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