热蒸发系统被广泛应用于各行各业，但它也存在着明显的缺点。
热蒸发系统主要缺点的 3 个要点
1.杂质含量高
热蒸发系统通常会导致杂质含量较高。
这主要是因为该工艺涉及在真空室中将源材料加热到非常高的温度。
在加热过程中，源材料中的任何杂质或污染物也会蒸发并成为沉积薄膜的一部分。
这可能会导致薄膜质量不佳，这对于要求高纯度的应用来说是个问题。
2.低密度薄膜
热蒸发产生的薄膜通常密度较低。
这意味着它们可能无法很好地附着在基底上，而且可能是多孔的。
多孔会影响薄膜的机械和电气性能。
密度低还会导致杂质含量高，因为孔隙会吸附杂质或让杂质在薄膜中迁移。
3.离子辅助缓解
虽然热蒸发产生的薄膜本身具有这些缺点，但使用离子辅助源可以帮助改善这种情况。
离子辅助包括用离子轰击沉积薄膜，这可以增加薄膜的密度并减少孔隙率。
这一过程还有助于去除或减少杂质，从而提高薄膜的整体质量。
不过，添加离子辅助源会增加系统的复杂性和成本，因此并非所有应用都可行。
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